[發明專利]離子注入機真空降低注入劑量計量新型補償方法無效
| 申請號： | 200810238902.3 | 申請日： | 2008-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN101764033A | 公開（公告）日： | 2010-06-30 |
| 發明（設計）人： | 戴習毛;郭健輝;金則軍 | 申請（專利權）人： | 北京中科信電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | H01J37/317 | 分類號： | H01J37/317;H01J37/244 |
| 代理公司： | 暫無信息 | 代理人： | 暫無信息 |
| 地址： | 101111 北京市中關村科*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 離子 注入 真空 降低 劑量 計量 新型 補償 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種離子注入機真空降低注入劑量計量新型補償方法流程包括1、2、3、4四個步驟：
步驟1，利用殘余氣體分析器分析離子注入機內的殘余氣體，取得殘留在離子注入機內的殘余氣體的種類，并測量上述殘余氣體在離子注入機內的分壓值。
步驟2，依照上述步驟所分析到的殘余氣體種類，可以找出各殘余氣體的常數K(例如第一殘余氣體的常數K1、第二殘余氣體的常數KZ以及第三殘余氣體的常數K3)，其中常數K表示該種殘余氣體與離子束產生電荷交換發應的能力。
步驟3，測量真空降低情況下離子束電流值Ic，方法是利用離子注入內的測束FD筒來實現。
步驟4，根據測量離子束的電流值Ic及系數K1，K2，K3，根據下式計算得到離子束實際注入量Is：
Is＝Ic×e(K1P1+K2P2+K3P3)
其特征在于：這樣采用理論補償注入劑量方法可避免注入機為了增加真空抽速而增加真空泵及帶來相關麻煩問題，使得離子注入機成本降低；同時，可根據實際情況靈活運用。，
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