[發明專利]一種光譜燈的制備方法及裝置

有效

• 申請號: 200810236722.1
• 申請日: 2008-12-09
• 公開（公告）號: CN101425437A
• 公開（公告）日: 2009-05-06
• 發明（設計）人: 孫煥堯;佘磊;張海枝;黃雄;白磊;高克林;李交美
• 申請（專利權）人: 中國科學院武漢物理與數學研究所
• 主分類號: H01J9/00
• 分類號: H01J9/00;H01J9/38
• 代理公司: 武漢宇晨專利事務所
• 代理人: 王敏鋒

1.一種194nm光譜燈發光泡的制作方法，其步驟為：

A、設計發光泡的外殼：

外殼采用石英材料制作，直徑為6-12mm，長8-12mm，一端面為JGS1石英玻璃材料；

B、對發光泡進行清洗，去除雜質：

a、用質量百分比為8％-12％的氫氟酸溶液浸泡泡的外殼10-15分鐘；

b、用蒸餾水稀釋清洗2-4次；

c、用氨水中和沖洗；

d、用蒸餾水沖洗2-4次；

e、用超聲波清洗25-40分鐘；

f、用蒸餾水清洗2-4次；

C、除去發光泡內的雜質氣體：

a、將泡架焊接到與真空制備裝置相連的玻璃架上；

b、開啟組合真空泵對泡進行除氣，通過連續72-80小時的真空抽氣，使得泡里的真空處于2×10^-6Pa-5×10^-6Pa之間；

c、通過烤箱加熱烘烤泡架和玻璃架，除去泡里的雜質氣體，烘烤時間為24-30小時，烘烤溫度為390-410℃；

D、向泡內充入緩沖氣體；

通過調節連接在氣瓶上的微漏閥向泡里充入緩沖氣體氬氣或氪氣，充入的量為0.1-0.5Torr，壓力規用于監測充入緩沖氣體的壓強；

E、向發光泡內注入汞；

充入緩沖氣體后，關閉微漏閥，保持真空狀態下，將充有緩沖氣體的發光泡和裝有汞的玻璃管整體切下，將玻璃管中的汞通過玻璃管緩慢倒入泡里，然后將玻璃管單獨切割下來，將泡密封，完成194nm光譜燈發光泡的制作。

2.一種適用權利要求1所述的光譜燈發光泡制備方法的裝置，它由玻璃架(7)，泡架(25)，真空制備裝置(31)，配氣裝置(32)，以及冷卻裝置(33)組成，其特征在于：

所述的裝有汞的泡架(25)由裝有汞的玻璃管(1)、石英玻璃轉接頭(6)、泡殼(5)組成，石英玻璃轉接頭(6)的一端通過焊接連接到泡殼(5)上，裝有汞的玻璃管(1)通過焊接連接到石英玻璃轉接頭(6)一端的側面上，石英玻璃轉接頭(6)的一端通過焊接連接到玻璃架(7)上；所述的玻璃架(7)通過玻璃連接金屬的可閥(17)與真空制備裝置(31)連接。

3.根據權利要求2所述的一種制備光譜燈發光泡的裝置，其特征在于：

所述的真空制備裝置(31)由六通(23)、組合真空泵(20)、真空B-A規(21)、離子泵組成，組合真空泵(20)連接到六通連接組合真空泵的接口(9)上，真空B-A規(21)連接到六通連接真空B-A規的接口(8)上，離子泵連接六通連接離子泵的接口(22)上，真空泵(20)連接到六通連接組合真空泵的接口(9)，真空B-A規(21)連接到六通連接真空B-A規的接口(8)以及離子泵連接六通連接離子泵的接口(22)之間均是通過法蘭和無氧銅圈連接密封。

4.根據權利要求2所述的一種制備光譜燈發光泡的裝置，其特征在于：

所述配氣裝置(32)由配氣管(18)、角閥(11)、壓力規(12)、微漏閥(13)、氣瓶(14)組成，角閥(11)一端口連接真空制備裝置(31)中的六通連接角閥接口(10)，角閥(11)的另一端口連接配氣管(18)，壓力規(12)通過配氣管(18)側壁上的一個端口連接，氣瓶(14)的開口端連接一個微漏閥(13)的端口，微漏閥(13)的另一端口連接配氣管(18)的側壁端口上。

5.根據權利要求2所述的一種制備光譜燈發光泡的裝置，其特征在于：

所述的冷卻裝置(33)由循環水槽(19)、水槽進水口(2)、外水槽出水口(3)、內水槽溢出口(4)、水槽抽水口(16)組成，置于裝有汞的玻璃管(1)的下方。