[發明專利]一種掃描電鏡原位觀察的全柔性三平移混聯微動裝置

無效

• 申請號: 200810236287.2
• 申請日: 2008-11-20
• 公開（公告）號: CN101413902A
• 公開（公告）日: 2009-04-22
• 發明（設計）人: 楊啟志;楊海波;馬履中;尹小琴
• 申請（專利權）人: 江蘇大學
• 主分類號: G01N21/88
• 分類號: G01N21/88;G01N21/84;G01N3/00;G01N19/00
• 代理公司: 南京經緯專利商標代理有限公司
• 代理人: 樓高潮

1.一種掃描電鏡原位觀察的全柔性三平移混聯微動裝置，包括x、y向底座以及z向底座、樣品臺、顯微壓頭支架以及壓電陶瓷微驅動裝置，顯微壓頭支架位于樣品臺上方，其特征在于所述的全柔性三平移混聯微動裝置由二自由度的全柔性平面并聯機構與單自由度的全柔性機構串聯一起組成混聯機構，二自由度的全柔性平面并聯機構為x、y向微動平移結構，單自由度的全柔性機構為z向微動平移結構；所述的x、y向微動平移結構由x、y向底座、樣品臺、壓電陶瓷微驅動器以及柔性桿組成，四個柔性桿連接樣品臺與x、y向底座，在樣品臺與x、y向底座之間設有兩個可以分別x、y向微動的壓電陶瓷微驅動器；所述的z向微動平移結構由z向底座、動平臺、壓電陶瓷微驅動器以及具有柔性鉸鏈的柔性支鏈組成，四個具有柔性鉸鏈的柔性支鏈連接動平臺與z向底座，在動平臺與z向底座之間設有一個可以z向微動的壓電陶瓷微驅動器；x、y向微動平移結構的x、y向底座與z向微動平移結構的動平臺剛性連接。