[發(fā)明專(zhuān)利]一種掃描電鏡原位觀察的全柔性三平移混聯(lián)微動(dòng)裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810236287.2
• 申請(qǐng)日: 2008-11-20
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101413902A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-04-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 楊啟志;楊海波;馬履中;尹小琴
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 江蘇大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/88
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/88;G01N21/84;G01N3/00;G01N19/00
• 代理公司: 南京經(jīng)緯專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司
• 代理人: 樓高潮

1.一種掃描電鏡原位觀察的全柔性三平移混聯(lián)微動(dòng)裝置，包括x、y向底座以及z向底座、樣品臺(tái)、顯微壓頭支架以及壓電陶瓷微驅(qū)動(dòng)裝置，顯微壓頭支架位于樣品臺(tái)上方，其特征在于所述的全柔性三平移混聯(lián)微動(dòng)裝置由二自由度的全柔性平面并聯(lián)機(jī)構(gòu)與單自由度的全柔性機(jī)構(gòu)串聯(lián)一起組成混聯(lián)機(jī)構(gòu)，二自由度的全柔性平面并聯(lián)機(jī)構(gòu)為x、y向微動(dòng)平移結(jié)構(gòu)，單自由度的全柔性機(jī)構(gòu)為z向微動(dòng)平移結(jié)構(gòu)；所述的x、y向微動(dòng)平移結(jié)構(gòu)由x、y向底座、樣品臺(tái)、壓電陶瓷微驅(qū)動(dòng)器以及柔性桿組成，四個(gè)柔性桿連接樣品臺(tái)與x、y向底座，在樣品臺(tái)與x、y向底座之間設(shè)有兩個(gè)可以分別x、y向微動(dòng)的壓電陶瓷微驅(qū)動(dòng)器；所述的z向微動(dòng)平移結(jié)構(gòu)由z向底座、動(dòng)平臺(tái)、壓電陶瓷微驅(qū)動(dòng)器以及具有柔性鉸鏈的柔性支鏈組成，四個(gè)具有柔性鉸鏈的柔性支鏈連接動(dòng)平臺(tái)與z向底座，在動(dòng)平臺(tái)與z向底座之間設(shè)有一個(gè)可以z向微動(dòng)的壓電陶瓷微驅(qū)動(dòng)器；x、y向微動(dòng)平移結(jié)構(gòu)的x、y向底座與z向微動(dòng)平移結(jié)構(gòu)的動(dòng)平臺(tái)剛性連接。