[發明專利]一種有機發光顯示器生產用金屬蔭罩的清洗方法

無效

• 申請號: 200810232776.0
• 申請日: 2008-12-11
• 公開（公告）號: CN101433902A
• 公開（公告）日: 2009-05-20
• 發明（設計）人: 唐李晟
• 申請（專利權）人: 彩虹集團公司
• 主分類號: B08B7/04
• 分類號: B08B7/04;B08B3/12
• 代理公司: 西安通大專利代理有限責任公司
• 代理人: 朱海臨

技術領域

本發明涉及一種有機發光顯示器生產用金屬蔭罩的清洗方法。

背景技術

OLED(有機發光顯示器)是一種新型的顯示器件，具有很多優異的顯示性能，目前發展很快。典型的OLED器件結構如圖1所示。玻璃基板上設置有ITO(氧化銦錫)陽極，ITO陽極表面鍍制有機發光層，在有機發光層表面上再鍍制上低功函數的陰極。在陽極和陰極上施加電壓，空穴載流子從陽極注入發光層，電子從陰極注入發光層，空穴載流子和電子在發光層復合產生激子，激子退激發時輻射出可見光。

OLED顯示器件發光層采用有機材料蒸鍍的方法進行制作，如圖2所示，玻璃基板放置在金屬蔭罩上方，ITO陽極與金屬蔭罩相對貼合在一起，金屬蔭罩是一張很薄的金屬膜繃緊在金屬框架上，金屬膜厚度為數十微米，金屬框架和金屬薄膜由溫度膨脹系數與顯示器件用的玻璃基板溫度膨脹系數相近的金屬材料制成，金屬框架一般為蔭鋼材料制成，金屬薄膜可以采用鎳或鎳鉻合金，金屬膜上有不開窗的部分和開窗的部分，開窗部分與基板上需要蒸鍍有機發光層的位置相對應，蔭罩下方有坩堝，其中放置有發光材料，給坩堝加熱，有機發光材料即被蒸發，有機發光材料蒸汽透過蔭罩上開窗部位最終沉積在需要沉積發光層的地方。這種鍍膜方式要求蔭罩金屬膜必須繃得很緊，而且蔭罩中間部分不能有下垂，否則有機發光材料將透過基板和金屬蔭罩之間的空隙沉積在不需要的地方。

在生產過程中，進行一定數量產品的有機層蒸鍍后，需要對金屬蔭罩進行清洗，否則金屬蔭罩表面將沉積過多的有機物，這些過多的有機物會堵塞金屬蔭罩上面的開窗，且在產生過程中有可能會發生脫落，對產品產生污染，使產品生產良率下降，造成產品生產成本上升和器件品質下降。因此需要對金屬蔭罩進行清洗。

常規的金屬蔭罩清洗方法是：在進行一定數量產品的有機膜層蒸鍍之后，一般為數十片至一百片左右，將金屬蔭罩取下，浸泡在有機溶劑中，利用超聲波使有機膜層與金屬蔭罩脫離。由于金屬蔭罩上的開窗很小，常規的清洗方式不易清洗干凈，有機物的碎片易殘留在金屬蔭罩的開窗內及金屬薄膜和金屬框架之間的縫隙內。這些有機物的碎片很容易造成下次蒸鍍的不良。

發明內容

本發明的目的是提供一種有機發光顯示器生產用的金屬蔭罩的清洗方法，通過臭氧和氧等離子處理，去除常規清洗方式容易造成的有機物細屑殘留，同時在蔭罩使用前對金屬蔭罩進行鍍金處理，提高金屬蔭罩在進行臭氧處理和氧等離子處理的時候的耐氧化性能，提高金屬蔭罩的使用壽命。

為達到以上目的，本發明是采取如下技術方案予以實現的：

一種有機發光顯示器生產用金屬蔭罩的清洗方法，包括下述步驟：

(1)采用常規方法，將金屬蔭罩浸入裝有專用有機清洗溶劑的超聲清洗槽內，經過超聲清洗10～30分鐘，當金屬蔭罩開窗部分附著的有機物膜層溶解和脫落后，取出金屬蔭罩；

(2)將金屬蔭罩再浸入裝有步驟(1)有機清洗溶劑的超聲清洗槽內進行二次清洗，經超聲清洗10～30分鐘后取出，用清潔氣流吹干金屬蔭罩表面的溶劑。

(3)將金屬蔭罩放入設有臭氧發生器的真空干燥設備內，抽真空至1KPa以下，充入干燥空氣或10～50KPa的氧氣，利用臭氧發生器產生臭氧；或者將金屬蔭罩放入設有等離子發生器的真空干燥設備內，充入干燥空氣或10～50KPa的氧氣，使氧氣反應生成臭氧或離子化生成氧離子，徹底去除金屬蔭罩經使用、清洗后殘留的有機物。

上述方法中，所述金屬蔭罩使用前進行鍍金處理：

首先將未使用過的金屬蔭罩浸入濃度為40％～50％的一乙醇胺或二乙醇胺水溶液的超聲清洗槽內，超聲清洗10至30分鐘，然后換純水進一步超聲清洗，取出干燥；

接著將經過清洗的金屬蔭罩浸入納米鉑膠體溶液中，金屬蔭罩表面與鉑膠體溶液完全接觸后取出晾干；

將在納米鉑膠體溶液中處理過的金屬蔭罩浸入過氧化氫和氯化金混合溶液中化學鍍5～10分鐘，在鉑納米微粒催化作用下，過氧化氫還原了氯化金；將化學鍍后的金屬蔭罩在100～250℃溫度下加熱30分鐘，增強鍍膜的附著性。