[發明專利]臥式干式真空泵

無效

• 申請號: 200810228432.2
• 申請日: 2008-10-31
• 公開（公告）號: CN101392748A
• 公開（公告）日: 2009-03-25
• 發明（設計）人: 劉坤;陳瑤;常學森;巴德純
• 申請（專利權）人: 東北大學;成都南光機器有限公司
• 主分類號: F04C18/02
• 分類號: F04C18/02;F04C25/00
• 代理公司: 沈陽東大專利代理有限公司
• 代理人: 李運萍

技術領域

本發明涉及抽真空技術領域，特別是一種臥式干式真空泵。?

背景技術

目前市場上已經有一些干式真空泵，干式真空泵易于維護、操作簡便且能獲得清潔的真空環境，所以被廣泛的應用于許多行業。為了獲得高真空環境，現在國內大量使用的是高真空機組，即及主泵需配前級泵，且在聯結時需大量管路和閥門。采用高真空機組，不僅需考慮各種真空泵的工作壓力范圍，而且系統中的真空泵、連接管道、閥門、真空計等輔助元件以及它們的控制單元使得這套系統成本很高。典型的高真空系統至少額外需要三個閥門和一個旁通管路。在半導體工廠中，前級真空泵一般都安裝在生產車間的下一層，使得前級泵的抽速損耗加大很多，因此必須選用昂貴的、性能好的泵。此外，在現代工業中的一些真空應用場合，如太陽能電池設備、半導體器件制備、小型精密實驗設備等，由真空泵機組帶來的占用空間龐大、維護麻煩、抽氣效率損失等問題，影響了工藝的進行。?

發明內容

為解決以上裝置的不足，本發明提供一種可達到高真空且直排大氣無需前級泵的真空泵。?

本發明結構設計是這樣實現的，一種臥式干式真空泵，包括主泵體，電機、轉子和定子，定子由牽引定子和旋渦定子組成，牽引定子包括螺旋肋筋和螺旋槽，螺旋肋筋設在牽引定子內外壁上，螺旋肋筋間構成牽引風流槽，螺旋槽分布在牽引定子內外壁上，旋渦定子由兩個半圓空腔對接構成，旋渦定子的最外級層設有排氣道；轉子由牽引轉子、螺旋轉子和旋渦轉子組成，牽引轉子為盤形，牽引轉子的上平面設有一凸臺，凸臺中心有一通孔，凸臺圓周外側的平面上具有至少一層環形圓板，螺旋轉子外表面設有徑向螺旋葉，旋渦轉子為葉輪形式，在旋渦轉子的圓周上設有溝槽，溝槽之間用薄板隔開。?

所述的旋渦定子由兩個半圓空腔對接構成，空腔呈“凸”字形，較大的一頭靠近定子外壁，稱為抽氣腔；較小的一頭通至軸心位置，用于安裝葉輪轉子，稱為裝配腔。?

所述的溝槽為矩形或近四分之一圓形或半圓形。?

所述的徑向螺旋葉的葉型為漸開線型或阿基米德螺線型。?

本發明與已有技術相比有如下優點：該種干泵可以獲得高真空環境，且可從大氣壓開始工作，直至將環境壓力抽至高真空段，真空度能夠達到10^-3Pa，避免了使用真空機組獲得高真空環境所帶來的一系列問題。?

附圖說明

圖1為本發明結構示意圖；?

圖2是螺旋轉子結構示意圖；?

圖3是旋渦轉子結構示意圖；?

圖4是牽引轉子結構示意圖；?

圖5是牽引定子結構示意圖；?

圖6是旋渦定子結構示意圖；?

圖中：1.壓蓋，2.入口，3.主泵體，4.牽引定子，5.螺旋轉子，6.牽引轉子，7.旋渦轉子，8.水冷管，9.旋渦定子，10.排氣口，11.地腳，12.底座，13.油箱，14.主軸，15.電機，16.電機殼體，17.甩油盤，18.螺旋葉，19.溝槽，20.環形圓板，21.凸臺，22.螺旋肋筋，23.螺旋槽，24.抽氣腔，25.裝配腔。?

具體實施方式

結合附圖對本發明做進一步描述：?