[發(fā)明專利]干式真空泵

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810228431.8
• 申請日: 2008-10-31
• 公開（公告）號: CN101392750A
• 公開（公告）日: 2009-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉坤;肖玉;常學(xué)森;巴德純
• 申請（專利權(quán)）人: 東北大學(xué);成都南光機器有限公司
• 主分類號: F04C25/02
• 分類號: F04C25/02;F04C18/02
• 代理公司: 沈陽東大專利代理有限公司
• 代理人: 李運萍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種干式真空泵。?

背景技術(shù)

近年來，人們已研制了多種類型的干泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、分析儀器和電子工業(yè)等真空應(yīng)用的各個領(lǐng)域。現(xiàn)有的干泵根據(jù)機械結(jié)構(gòu)形式的不同，可以大致把干式真空泵分為：羅茨式、羅茨+爪式、螺桿式、渦旋式等。羅茨式以及羅茨+爪式組合式結(jié)構(gòu)使得氣體通路長而復(fù)雜，導(dǎo)致冷凝物的堆積和被化學(xué)氣體腐蝕的可能性大大增加。由于都是多級設(shè)計，級與級之間又多采用密封，使得零部件較多，泄漏點較多，從而使得維修工作比較麻煩。而且羅茨+爪式干泵外形尺寸較大，運轉(zhuǎn)噪聲也較大。螺桿式和渦旋式真空泵轉(zhuǎn)子形狀特殊，帶來加工、裝配、定位要求精度高，且加工必須用專機，廢品率高，不利于批量生產(chǎn)，成本較高，人們一直在尋求能直排大氣的干式真空泵。?

發(fā)明內(nèi)容

為了解決以上裝置的不足，本發(fā)明提供一種干式真空泵。?

本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種干式真空泵，包括底座、電機、轉(zhuǎn)子和定子，轉(zhuǎn)子由多級旋渦級轉(zhuǎn)子組成，每一級旋渦級轉(zhuǎn)子的外側(cè)沿圓周方向設(shè)有環(huán)形凹槽，在凹槽里均勻分布有與凹槽等高的葉片；定子的圓周內(nèi)側(cè)設(shè)有旋渦槽，旋渦槽的級數(shù)與轉(zhuǎn)子旋渦級的級數(shù)一致，旋渦槽內(nèi)有一段升起的凸臺，每一級旋渦槽與相對應(yīng)的一級旋渦級轉(zhuǎn)子構(gòu)成一級抽氣壓縮單元；在相鄰的兩個抽氣壓縮單元之間設(shè)有排氣道，排氣道位于定子圓周內(nèi)側(cè)相鄰兩個旋渦槽之間。?

凹槽截面形狀為近半圓形。葉片個數(shù)至少為30個，葉片橫截面形狀為矩形或者弓形，其中弓形的開口方向與轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向一致。每一級旋渦槽的截面形狀為近半圓形。凸臺位于每一級抽氣壓縮單元的氣體壓縮終止處，截面形狀為近半圓形。排氣道是兩個旋渦槽之間凹下去一部分自然形成，排氣道作為上一級抽氣壓縮單元的排氣口和下一級抽氣壓縮單元的進(jìn)氣口。?

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明設(shè)計一種新型的干式真空泵，它采用旋渦加速的原理，可以單獨使用，也可以作為干式真空泵機組中的前級泵使用。在相同體積的直排大氣的干式真空泵中，它能達(dá)到更低的極限壓力；而在相同極限壓力的直排大氣干式真空泵中，該泵具有更小的體積、更輕的質(zhì)量。同時該泵氣體通路短，氣體可以快速排出，減少了冷凝物和微小顆粒堆積的可能。該泵結(jié)構(gòu)簡單，零部件少，易于加工，維修簡單，同時該泵內(nèi)運動件與泵腔無摩擦，故幾乎無磨損，所以該泵振動小，噪聲低。?

附圖說明

圖1是本發(fā)明一種實施例的的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖2是本發(fā)明一種實施例的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖3是本發(fā)明一種實施例的定子結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖中：1壓蓋，2定子，3轉(zhuǎn)子，4主軸，5機械密封，6上軸承，7底座，8排氣口，9電機轉(zhuǎn)子，10電機定子，11下軸承，12油池，13進(jìn)氣道，14凸臺，15排氣道，16葉片。?

具體實施方式

結(jié)合附圖對本發(fā)明做進(jìn)一步描述：?

如圖1為本發(fā)明一種實施例的結(jié)構(gòu)示意圖，包括底座7，與底座7相連的電機轉(zhuǎn)子9，與主軸4相連的轉(zhuǎn)子3，主軸4中心設(shè)有吸油孔，吸油孔通入底座下部的潤滑油池12內(nèi)，主軸4上設(shè)有出油處，出油處由多個出油孔構(gòu)成，出油孔位于上軸承6和下軸承11附近，為上軸承6和下軸承11提供潤滑油，上軸承6和下軸承11采用滾動軸承，密封采用機械密封5；轉(zhuǎn)子3由三級旋渦級轉(zhuǎn)子組成，每一級旋渦級轉(zhuǎn)子的外側(cè)沿圓周方向設(shè)有環(huán)形凹槽，凹槽截面形狀為近半圓形，在凹槽里均勻分布有與凹槽等高的葉片16，葉片16橫截面形狀為矩形，轉(zhuǎn)子3上方設(shè)有與定子2相連的壓蓋1，定子2的圓周內(nèi)側(cè)設(shè)有三級旋渦槽，每一級旋渦槽與相對應(yīng)的一級旋渦級轉(zhuǎn)子構(gòu)成一級抽氣壓縮單元，壓蓋1上平面設(shè)有吸氣口，當(dāng)轉(zhuǎn)子3旋轉(zhuǎn)時，氣體從吸氣口進(jìn)入，隨后進(jìn)入進(jìn)氣道13，然后氣體進(jìn)入一級抽氣壓縮單元，經(jīng)過旋轉(zhuǎn)的葉片16時獲得能量，加速氣流的運動，葉片16之間的氣體和旋渦槽內(nèi)的氣體以旋渦的形式沿著轉(zhuǎn)子3旋轉(zhuǎn)方向運動，直至每一級抽氣壓縮單元的壓縮終止處，相鄰兩級抽氣壓縮單元之間設(shè)有排氣道15，氣體通過排氣道15從上一級抽氣壓縮單元進(jìn)入下一級抽氣壓縮單元，排氣道15與排氣口8相連，經(jīng)過抽氣壓縮單元的多次壓縮從排氣口8排向大氣。?

如圖2為本發(fā)明一種實施例的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)示意圖，轉(zhuǎn)子3由三級旋渦級轉(zhuǎn)子組成，每一級旋渦級轉(zhuǎn)子的外側(cè)沿圓周方向設(shè)有環(huán)形凹槽，凹槽截面形狀為近半圓形，在凹槽里均勻分布有與凹槽等高的葉片16，葉片16橫截面形狀為矩形，轉(zhuǎn)子3與定子2共同構(gòu)成抽氣壓縮單元。?

如圖3為本發(fā)明一種實施例的定子結(jié)構(gòu)示意圖，定子2內(nèi)側(cè)有三級旋渦槽以及與旋渦轉(zhuǎn)子相匹配的凸臺14，定子2內(nèi)側(cè)設(shè)有進(jìn)氣道13和排氣道15，進(jìn)氣道13與進(jìn)氣口相連，排氣道15與排氣口8相連。