[發(fā)明專利]干式真空泵

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810228431.8
• 申請(qǐng)日: 2008-10-31
• 公開（公告）號(hào): CN101392750A
• 公開（公告）日: 2009-03-25
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 劉坤;肖玉;常學(xué)森;巴德純
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 東北大學(xué);成都南光機(jī)器有限公司
• 主分類號(hào): F04C25/02
• 分類號(hào): F04C25/02;F04C18/02
• 代理公司: 沈陽(yáng)東大專利代理有限公司
• 代理人: 李運(yùn)萍

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及真空技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種干式真空泵。?

背景技術(shù)

近年來，人們已研制了多種類型的干泵，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、分析儀器和電子工業(yè)等真空應(yīng)用的各個(gè)領(lǐng)域。現(xiàn)有的干泵根據(jù)機(jī)械結(jié)構(gòu)形式的不同，可以大致把干式真空泵分為：羅茨式、羅茨+爪式、螺桿式、渦旋式等。羅茨式以及羅茨+爪式組合式結(jié)構(gòu)使得氣體通路長(zhǎng)而復(fù)雜，導(dǎo)致冷凝物的堆積和被化學(xué)氣體腐蝕的可能性大大增加。由于都是多級(jí)設(shè)計(jì)，級(jí)與級(jí)之間又多采用密封，使得零部件較多，泄漏點(diǎn)較多，從而使得維修工作比較麻煩。而且羅茨+爪式干泵外形尺寸較大，運(yùn)轉(zhuǎn)噪聲也較大。螺桿式和渦旋式真空泵轉(zhuǎn)子形狀特殊，帶來加工、裝配、定位要求精度高，且加工必須用專機(jī)，廢品率高，不利于批量生產(chǎn)，成本較高，人們一直在尋求能直排大氣的干式真空泵。?

發(fā)明內(nèi)容

為了解決以上裝置的不足，本發(fā)明提供一種干式真空泵。?

本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種干式真空泵，包括底座、電機(jī)、轉(zhuǎn)子和定子，轉(zhuǎn)子由多級(jí)旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子組成，每一級(jí)旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子的外側(cè)沿圓周方向設(shè)有環(huán)形凹槽，在凹槽里均勻分布有與凹槽等高的葉片；定子的圓周內(nèi)側(cè)設(shè)有旋渦槽，旋渦槽的級(jí)數(shù)與轉(zhuǎn)子旋渦級(jí)的級(jí)數(shù)一致，旋渦槽內(nèi)有一段升起的凸臺(tái)，每一級(jí)旋渦槽與相對(duì)應(yīng)的一級(jí)旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子構(gòu)成一級(jí)抽氣壓縮單元；在相鄰的兩個(gè)抽氣壓縮單元之間設(shè)有排氣道，排氣道位于定子圓周內(nèi)側(cè)相鄰兩個(gè)旋渦槽之間。?

凹槽截面形狀為近半圓形。葉片個(gè)數(shù)至少為30個(gè)，葉片橫截面形狀為矩形或者弓形，其中弓形的開口方向與轉(zhuǎn)子旋轉(zhuǎn)方向一致。每一級(jí)旋渦槽的截面形狀為近半圓形。凸臺(tái)位于每一級(jí)抽氣壓縮單元的氣體壓縮終止處，截面形狀為近半圓形。排氣道是兩個(gè)旋渦槽之間凹下去一部分自然形成，排氣道作為上一級(jí)抽氣壓縮單元的排氣口和下一級(jí)抽氣壓縮單元的進(jìn)氣口。?

本發(fā)明的有益效果是：本發(fā)明設(shè)計(jì)一種新型的干式真空泵，它采用旋渦加速的原理，可以單獨(dú)使用，也可以作為干式真空泵機(jī)組中的前級(jí)泵使用。在相同體積的直排大氣的干式真空泵中，它能達(dá)到更低的極限壓力；而在相同極限壓力的直排大氣干式真空泵中，該泵具有更小的體積、更輕的質(zhì)量。同時(shí)該泵氣體通路短，氣體可以快速排出，減少了冷凝物和微小顆粒堆積的可能。該泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，零部件少，易于加工，維修簡(jiǎn)單，同時(shí)該泵內(nèi)運(yùn)動(dòng)件與泵腔無摩擦，故幾乎無磨損，所以該泵振動(dòng)小，噪聲低。?

附圖說明

圖1是本發(fā)明一種實(shí)施例的的結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖2是本發(fā)明一種實(shí)施例的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖3是本發(fā)明一種實(shí)施例的定子結(jié)構(gòu)示意圖；?

圖中：1壓蓋，2定子，3轉(zhuǎn)子，4主軸，5機(jī)械密封，6上軸承，7底座，8排氣口，9電機(jī)轉(zhuǎn)子，10電機(jī)定子，11下軸承，12油池，13進(jìn)氣道，14凸臺(tái)，15排氣道，16葉片。?

具體實(shí)施方式

結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步描述：?

如圖1為本發(fā)明一種實(shí)施例的結(jié)構(gòu)示意圖，包括底座7，與底座7相連的電機(jī)轉(zhuǎn)子9，與主軸4相連的轉(zhuǎn)子3，主軸4中心設(shè)有吸油孔，吸油孔通入底座下部的潤(rùn)滑油池12內(nèi)，主軸4上設(shè)有出油處，出油處由多個(gè)出油孔構(gòu)成，出油孔位于上軸承6和下軸承11附近，為上軸承6和下軸承11提供潤(rùn)滑油，上軸承6和下軸承11采用滾動(dòng)軸承，密封采用機(jī)械密封5；轉(zhuǎn)子3由三級(jí)旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子組成，每一級(jí)旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子的外側(cè)沿圓周方向設(shè)有環(huán)形凹槽，凹槽截面形狀為近半圓形，在凹槽里均勻分布有與凹槽等高的葉片16，葉片16橫截面形狀為矩形，轉(zhuǎn)子3上方設(shè)有與定子2相連的壓蓋1，定子2的圓周內(nèi)側(cè)設(shè)有三級(jí)旋渦槽，每一級(jí)旋渦槽與相對(duì)應(yīng)的一級(jí)旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子構(gòu)成一級(jí)抽氣壓縮單元，壓蓋1上平面設(shè)有吸氣口，當(dāng)轉(zhuǎn)子3旋轉(zhuǎn)時(shí)，氣體從吸氣口進(jìn)入，隨后進(jìn)入進(jìn)氣道13，然后氣體進(jìn)入一級(jí)抽氣壓縮單元，經(jīng)過旋轉(zhuǎn)的葉片16時(shí)獲得能量，加速氣流的運(yùn)動(dòng)，葉片16之間的氣體和旋渦槽內(nèi)的氣體以旋渦的形式沿著轉(zhuǎn)子3旋轉(zhuǎn)方向運(yùn)動(dòng)，直至每一級(jí)抽氣壓縮單元的壓縮終止處，相鄰兩級(jí)抽氣壓縮單元之間設(shè)有排氣道15，氣體通過排氣道15從上一級(jí)抽氣壓縮單元進(jìn)入下一級(jí)抽氣壓縮單元，排氣道15與排氣口8相連，經(jīng)過抽氣壓縮單元的多次壓縮從排氣口8排向大氣。?

如圖2為本發(fā)明一種實(shí)施例的轉(zhuǎn)子結(jié)構(gòu)示意圖，轉(zhuǎn)子3由三級(jí)旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子組成，每一級(jí)旋渦級(jí)轉(zhuǎn)子的外側(cè)沿圓周方向設(shè)有環(huán)形凹槽，凹槽截面形狀為近半圓形，在凹槽里均勻分布有與凹槽等高的葉片16，葉片16橫截面形狀為矩形，轉(zhuǎn)子3與定子2共同構(gòu)成抽氣壓縮單元。?

如圖3為本發(fā)明一種實(shí)施例的定子結(jié)構(gòu)示意圖，定子2內(nèi)側(cè)有三級(jí)旋渦槽以及與旋渦轉(zhuǎn)子相匹配的凸臺(tái)14，定子2內(nèi)側(cè)設(shè)有進(jìn)氣道13和排氣道15，進(jìn)氣道13與進(jìn)氣口相連，排氣道15與排氣口8相連。