[發(fā)明專利]一種實(shí)時(shí)標(biāo)定四象限探測(cè)器的方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810227104.0
• 申請(qǐng)日: 2008-11-21
• 公開（公告）號(hào): CN101738164A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭紅蓮;屈娥;凌林;黃璐;李兆霖;張道中;李志遠(yuǎn)
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院物理研究所
• 主分類號(hào): G01B11/02
• 分類號(hào): G01B11/02
• 代理公司: 北京泛華偉業(yè)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11280
• 代理人: 王勇

1.一種光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，包括四象限光電二極管探測(cè)器，以及被探測(cè)物體影像生成裝置；其特征在于，還包括安裝有玻璃載玻片并能帶動(dòng)所述玻璃載玻片做振動(dòng)的步進(jìn)馬達(dá)；其中，

所述的步進(jìn)馬達(dá)位于所述的四象限光電二極管探測(cè)器與所述的被探測(cè)物體影像生成裝置間，并使得被探測(cè)物體影像生成裝置射向四象限光電二極管探測(cè)器的光線正好穿過所述步進(jìn)馬達(dá)上的玻璃載玻片。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述的步進(jìn)馬達(dá)帶動(dòng)玻璃載玻片做方波振動(dòng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述的步進(jìn)馬達(dá)所帶動(dòng)的玻璃載玻片的方波振動(dòng)角度在±7.5⁰之間。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)，其特征在于，所述的步進(jìn)馬達(dá)的振動(dòng)頻率為2Hz。

5.一種在權(quán)利要求1-4之一的光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)上實(shí)時(shí)標(biāo)定四象限光電二極管探測(cè)器的方法，包括：

步驟1)、開啟所述的步進(jìn)馬達(dá)，由所述的步進(jìn)馬達(dá)帶動(dòng)所述的玻璃載玻片做方波振動(dòng)；

步驟2)、所述的被探測(cè)物體影像生成裝置發(fā)出的帶有被探測(cè)物體影像的光線穿過所述的玻璃載玻片照射到所述的四象限光電二極管探測(cè)器上，在所述玻璃載玻片做方波振動(dòng)時(shí)，被探測(cè)物體影像相對(duì)于所述四象限光電二極管探測(cè)器發(fā)生移動(dòng)，得到所述四象限光電二極管探測(cè)器的輸出電壓信號(hào)；

步驟3)、根據(jù)步驟2)得到的輸出電壓信號(hào)，以及玻璃載玻片在做方波振動(dòng)時(shí)被探測(cè)物體影像相對(duì)于所述四象限光電二極管探測(cè)器的位移，計(jì)算所述四象限光電二極管探測(cè)器的位移與輸出電壓的轉(zhuǎn)換系數(shù)，實(shí)現(xiàn)對(duì)所述四象限光電二極管探測(cè)器的標(biāo)定。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的實(shí)時(shí)標(biāo)定四象限光電二極管探測(cè)器的方法，其特征在于，在所述的步驟3)中，所述的玻璃載玻片在做方波振動(dòng)時(shí)被探測(cè)物體影像相對(duì)于所述四象限光電二極管探測(cè)器的位移通過標(biāo)定得到，所述的標(biāo)定包括：

步驟3-1)、用視頻電荷耦合器件采集所述玻璃載玻片振動(dòng)時(shí)所得到的一系列光肼中的被探測(cè)物體影像；

步驟3-2)、采用灰度重心法得到被探測(cè)物體影像的位置，從而得到被探測(cè)物體影像相對(duì)于所述四象限光電二極管探測(cè)器的位移。