[發(fā)明專利]用于蒸鍍有機電致發(fā)光二極管電極的金屬裝填方法及系統(tǒng)

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810225523.0
• 申請日: 2008-11-04
• 公開（公告）號: CN101736293A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 孫力
• 申請（專利權(quán)）人: 京東方科技集團股份有限公司
• 主分類號: C23C14/24
• 分類號: C23C14/24;H01L51/56
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11205
• 代理人: 劉芳

1.一種用于蒸鍍有機電致發(fā)光二極管電極的金屬裝填方法，其特征在 于，包括：

在密閉操作空間內(nèi)填充惰性氣體；

在填充了惰性氣體的所述密閉操作空間內(nèi)將被密封保存的金屬取出， 放入蒸發(fā)舟內(nèi)；

在填充了惰性氣體的所述密閉操作空間內(nèi)將所述蒸發(fā)舟加密封蓋密 封；

將密封的蒸發(fā)舟從填充了惰性氣體的所述密閉操作空間內(nèi)取出放入 蒸鍍空間；

從所述蒸鍍空間中抽出空氣，直至所述蒸發(fā)舟打開；

其中，還包括：

在所述密封蓋上與所述蒸發(fā)舟接觸的部分設(shè)置彈性材料；

在所述密封蓋上設(shè)置彈性部件。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的用于蒸鍍有機電致發(fā)光二極管電極的金屬 裝填方法，其特征在于，還包括：

在所述密閉操作空間內(nèi)放置抽低真空裝置；

將所述蒸發(fā)舟加密封蓋密封包括：

在所述蒸發(fā)舟上加密封蓋；

利用所述抽低真空裝置通過所述密封蓋從所述蒸發(fā)舟內(nèi)抽出空氣，直 至所述蒸發(fā)舟密封。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的用于蒸鍍有機電致發(fā)光二極管電極的金 屬裝填方法，其特征在于，在所述密封蓋上設(shè)置彈性部件包括：在所述密封 蓋的頂部設(shè)置彈性部件；

將密封的蒸發(fā)舟從所述密閉操作空間內(nèi)取出放入蒸鍍空間包括：

將所述彈性部件的一端與所述蒸鍍空間內(nèi)的固定點連接。

4.一種用于蒸鍍有機電致發(fā)光二極管電極的金屬裝填系統(tǒng)，其特征在 于，包括：

密閉操作空間，填充有惰性氣體，所述密閉操作空間內(nèi)還設(shè)置有抽低真 空裝置；

蒸發(fā)舟，開口狀態(tài)下內(nèi)置于所述密閉操作空間內(nèi)；

密封蓋，在所述蒸發(fā)舟內(nèi)置金屬狀態(tài)下，設(shè)置于使所述蒸發(fā)舟處于密 封狀態(tài)的開口處，所述蒸發(fā)舟的密封蓋上設(shè)置有為所述抽低真空裝置提供 的抽氣口，所述密封蓋與蒸發(fā)舟接觸的部分設(shè)置有彈性材料，所述密封蓋上 設(shè)置有彈性部件，所述彈性部件設(shè)置于所述密封蓋的頂部；

蒸鍍空間，在所述蒸發(fā)舟密封狀態(tài)下，內(nèi)置有所述蒸發(fā)舟，所述蒸鍍 空間內(nèi)還設(shè)置有用于固定所述彈性部件一端的固定件。