[發明專利]一種微細電化學加工用電極的側壁絕緣方法

無效

• 申請號: 200810225440.1
• 申請日: 2008-10-31
• 公開（公告）號: CN101391328A
• 公開（公告）日: 2009-03-25
• 發明（設計）人: 李勇;劉改紅;陳旭鵬
• 申請（專利權）人: 清華大學
• 主分類號: B23H3/04
• 分類號: B23H3/04;B23H3/06;C08J3/24;C08L63/00
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種微細電化學加工用電極的側壁絕緣方法，其特征在于該方法包括如下步驟：

1)清洗電極；

2)采用旋涂法在電極表面涂敷液態絕緣材料，所述的液態絕緣材料采用由WSR?618環氧樹脂、501活性稀釋劑和651低分子聚酰胺樹脂固化劑混合而成的環氧樹脂液；

3)利用溶劑液膜，通過局部溶解的方法去除電極端面的液態絕緣材料，使端面導電；

4)對側壁表面上的液態絕緣材料進行固化處理；

5)重復步驟2)、步驟3)、步驟4)數次，在電極的側壁表面形成一定厚度的絕緣膜，以滿足側壁絕緣要求。

2.根據權利要求1所述的微細電化學加工用電極的側壁絕緣方法，其特征在于：所述的環氧樹脂液的組分WSR?618環氧樹脂、501活性稀釋劑和651低分子聚酰胺樹脂固化劑的質量配比為1∶(0.05～0.15)∶(0.30～0.50)。

3.根據權利要求1所述的微細電化學加工用電極的側壁絕緣方法，其特征在于：所述環氧樹脂液的固化溫度為15℃～35℃，固化時間為30～50小時。

4.根據權利要求1所述的微細電化學加工用電極的側壁絕緣方法，其特征在于：所述的環氧樹脂液作為液態絕緣材料，在步驟3)中利用溶劑液膜通過局部溶解的方法進行電極端面的導電處理中，所用的溶劑為501活性稀釋劑。

5.根據權利要求1所述的微細電化學加工用電極的側壁絕緣方法，其特征在于：所述的環氧樹脂液作為液態絕緣材料，在步驟5)中，形成的側壁絕緣膜的厚度為2.5～5μm。