[發明專利]一種帶有氮氣保護的三氯氫硅或四氯化硅工藝系統的控制管路

有效

• 申請號: 200810225009.7
• 申請日: 2008-10-23
• 公開（公告）號: CN101723373A
• 公開（公告）日: 2010-06-09
• 發明（設計）人: 何自強;馮泉林;閆志瑞;張果虎
• 申請（專利權）人: 北京有色金屬研究總院;有研半導體材料股份有限公司
• 主分類號: C01B33/03
• 分類號: C01B33/03
• 代理公司: 北京北新智誠知識產權代理有限公司 11100
• 代理人: 郭佩蘭

1.一種帶有氮氣保護的三氯氫硅或四氯化硅供應系統的控制管路，它包括： 一條進入鼓泡器液相內的氫氣輸入管路——第二管路(②)；一條氣態三氯氫硅 或四氯化硅輸出管路——第三管路(③)，該管路的第一端與外延爐的工藝氣體 管路相接；一條一端插入三氯氫硅或四氯化硅液罐底部將三氯氫硅或四氯化硅 液體送入鼓泡器的第七管路(⑦)；一條將氫氣送入三氯氫硅或四氯化硅液罐的 第十管路(⑩)，其進入液罐設有的第十一閥門(V11)，

其特征在于：控制管路還包括：

(1)一條氫氣輸入管路——第八管路(⑧)，該第八管路(⑧)與第一管 路(①)串接，第一管路(①)是第二管路(②)的旁路；該第八管路(⑧) 的一端接氫氣進口，其另一端通過第一三通接第六管路(⑥)，該第六管路(⑥) 的一端和鼓泡器的第八閥門(V8)連接，該第六管路(⑥)的另一端連接第九 管路(⑨)，第六管路(⑥)通過第二三通接插入三氯氫硅或四氯化硅液罐底部 的第七管路(⑦)，該第六管路(⑥)在第一三通與第二三通之間的管線上串接 第九閥門(V9)，第二三通的另一端通過閥門(AV1)接至鼓泡器的第八閥門(V8)； 所述第七管路(⑦)的一端連接液灌的第十閥門(V10)，另一端在閥門(AV1) 和第九閥門(V9)之間和管路(⑥)通過第二三通連接；

(2)第三管路(③)的第二端上先通過第三三通連接第五管路(⑤)和鼓 泡器的第四閥門(V4)，再通過第四三通連接和鼓泡器的第三閥門(V3)連接的 第二管路(②)，第三管路(③)與第二管路(②)之間通過第五閥門(V5)導 通，第五管路(⑤)以第五三通與第十九閥門(V19)的一端連接，第十九閥門 (V19)的另一端與第四管路(④)的文氏管的抽氣接口連接；第四管路(④) 為連接氮氣管路并利用文氏管產生負壓的管路；

(3)第五管路(⑤)通過第一四通連接第十管路(⑩)和第十二閥門(V12)， 第七管路(⑦)靠近第六管路(⑥)處串接有第十三閥門(V13)，第十二閥門 (V12)的另一端連接在第七管路(⑦)的第十三閥門(V13)和第十閥門(V10) 之間，所述液灌的第十一閥門(V11)通過該四通接第五管路(⑤)，該第五管 路(⑤)的另一端與上述的第三管路(③)相接，將氣態三氯氫硅或四氯化硅 送至工藝使用；

(4)第二管路(②)、第八管路(⑧)、第九管路(⑨)分別串有第二閥門 (V2)、第十七閥門(V17)、第十八閥門(V18)，第二閥門(V2)位于氫氣出口 處的管路上，第六管路(⑥)和第十管路(⑩)通過第二四通連接，第十管路 (⑩)在靠近該四通下游的位置上還設有第十五閥門(V15)，第十管路(⑩) 在靠近該四通上游的位置上還設有第十六閥門(V16)，該第十六閥門(V16)連 接工藝氣體；第三管路(③)在靠近第一端的位置上串接有第六閥門(V6)；第 五管路(⑤)中接有第七閥門(V7)、第十四閥門(V14)，該第七閥門(V7)和 第十四閥門(V14)分布在第五管路(⑤)連接第四管路(④)的三通的兩側。

2.根據權利要求1所述的帶有氮氣保護的三氯氫硅或四氯化硅供應系統的 控制管路，其特征在于：所述閥門均為手動閥門或編程控制器控制的氣動控制 閥門。