[發明專利]一種復合膜片壓力傳感器結構無效
| 申請號： | 200810224110.0 | 申請日： | 2008-10-15 |
| 公開（公告）號： | CN101726384A | 公開（公告）日： | 2010-06-09 |
| 發明（設計）人： | 王曉東;樊中朝;季安;邢波;楊富華 | 申請（專利權）人： | 中國科學院半導體研究所 |
| 主分類號： | G01L7/08 | 分類號： | G01L7/08 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 湯保平 |
| 地址： | 100083 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 復合 膜片 壓力傳感器 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種復合膜片壓力傳感器結構，包括：
一單晶硅層，該單晶硅層的一面為凹型；
一多孔硅層，該多孔硅層生長在單晶硅層凹型的內表面。
2.根據權利1所述的復合膜片壓力傳感器結構，其中該凹型單晶硅層的底面為平板型結構。
3.根據權利1所述的復合膜片壓力傳感器結構，其中該凹型單晶硅層的底面為島狀結構。
4.根據權利3所述的復合膜片壓力傳感器結構，其中島狀結構為單島、雙島或多島結構。
5.根據權利3或4所述的復合膜片壓力傳感器結構，其中島狀結構為方形島、矩形島或圓形島結構。
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