[發明專利]激光刻線除塵裝置及操作方法

無效

• 申請號: 200810218755.3
• 申請日: 2008-10-30
• 公開（公告）號: CN101402229A
• 公開（公告）日: 2009-04-08
• 發明（設計）人: 覃海;王勇;藍劾
• 申請（專利權）人: 東莞宏威數碼機械有限公司
• 主分類號: B28D7/02
• 分類號: B28D7/02;B28D5/04
• 代理公司: 廣州三環專利代理有限公司
• 代理人: 張艷美;郝傳鑫

技術領域

本發明涉及一種清理收集粉塵用的除塵裝置，尤其涉及一種在用激光發生器對非晶硅太陽能板刻線時進行除塵用的激光刻線除塵裝置。

背景技術

在太陽能板制備過程中，尤其是非晶硅太陽能電池板制備過程中每一次的蒸鍍(或濺鍍，或覆膜)都需要用激光發生器對其進行激光刻線，刻線后如不清理刻線過程中產生的粉塵，則粉塵將沉積在刻線槽及板上，在下一次蒸鍍(或濺鍍，或覆膜)過程中上述這些粉塵將被覆蓋，從而造成板上布局的線路發生短路；同時沉積在玻璃表面的粉塵也將影響下一次蒸鍍過程中的薄膜厚度和均勻度，進而降低整塊板的光電轉換率。

目前應用于對激光刻線中產生的粉塵進行收集的方式主要有三種，第一種為大功率抽風機封閉環境引流方法，即將激光刻線工作平臺用外罩封閉，利用安裝在刻線非晶硅太陽能板兩側或其上方的大功率抽風機將封閉空間的氣流引出，使粉塵隨氣流被抽風機抽出封閉空間；第二種為全覆蓋式集風箱除塵方法，即是在刻線非晶硅太陽能板上方安裝一個漏斗形或梯形的集風箱，再設置一抽風機與集風箱連通，上述集風箱的箱體完全罩住非晶硅太陽能板，利用抽風機將粉塵吸進集風箱中；第三種是采用靜電除塵方法，目前主流的靜電除塵技術原理是基于高壓電場可使粉塵發生電離，靜電除塵器具有正、負兩電極，負極由不同斷面形狀的金屬導線制成，叫放電電極；正極由不同幾何形狀的金屬板制成，叫集塵電極；放電電極釋放出電子使空氣中的粉塵帶電，而集塵電極帶有正電場將帶電粉塵吸引到金屬板上，利用此原理，使氣流中的粉塵荷電在電場作用下與氣流分離，從而達到除塵目的。

利用上述第一種大功率抽風機封閉環境引流方法對刻線過程中產生的粉塵進行收集處理，對于小面積非晶硅太陽能板表面薄膜及低速刻線具有一定的功效，然而對于如非晶硅薄膜太陽能板薄膜基片為1100毫米×1400毫米的大面積玻璃刻線時的粉塵就無法完全吸除，導致除塵效率低，一方面，很難形成大的封閉空間進而產生足夠的引出氣流；另一方面，必須引入的大功率抽風機才能實現除塵的功能，而大功率抽風機會造成較大的噪聲污染和能耗增加，同時封閉的空間不易于刻線散熱，長時間的高溫環境會加速布線的老化以及使電機壽命縮短，致使成本增加和構成安全隱患。

利用上述第二種全覆蓋式集風箱除塵方法，由于風向入口面積大使其整個面積內氣流不均勻，造成局部粉塵清理不走，同樣需要引入大功率抽風機；并且，無論是利用大功率抽風機封閉環境引流方式除塵，還是采用全覆蓋式集風箱除塵式除塵方法都只能對刻線空間內的粉塵進行吸除，而對于因帶有靜電而吸附于薄膜表面和線槽中的粉塵則無法吸除，造成除塵不完全，導致除塵效率低。

利用上述第三種靜電除塵方法雖然可以有效吸除粉塵，但是，靜電除塵方法的性能受粉塵性質、設備構造和粉塵流速等三個因素的影響。采用靜電除塵的方法與其他除塵方法相比，雖然耗能少，除塵效率高，然而如果利用此法進行除塵處理，將大大增加設備投入成本，并且還需根據所產生的粉塵的性質，對設備進行適應性的改進，結構復雜且不易操作。

因此，需要一種成本低、除塵效率高、噪聲低且耗能少的激光刻線除塵裝置。

發明內容

本發明的目的在于提供一種成本低、除塵效率高、噪聲低且耗能少的激光刻線除塵裝置。

本發明的另一目的在于提供一種成本低、除塵效率高、噪聲低且耗能少的激光刻線除塵裝置的操作方法。

為了實現上述目的，本發明提供一種激光刻線除塵裝置，適用于激光發生器對非晶硅太陽能板刻線時進行除塵，所述激光刻線除塵裝置包括吸塵裝置及抽風裝置，所述吸塵裝置與所述抽風裝置相連通，其中，所述吸塵裝置包括抽風機、集風箱及濾塵網，所述抽風裝置包括抽風箱及連接于其外側的靜電消除棒，所述抽風箱具有抽風箱進風口及抽風箱出風口，所述抽風箱出風口與所述吸塵裝置的集風箱一端連通，所述集風箱另一端與所述抽風機連通，所述濾塵網安裝于所述集風箱內，所述抽風箱進風口覆蓋于所述非晶硅太陽能板刻線軌跡的正上方。

較佳地，所述靜電消除棒上端連接于所述抽風箱外側上，下端沿所述抽風箱進風口方向延伸并超過所述抽風箱進風口；方便于將刻線產生的帶有靜電的粉塵在通過靜電消除棒消除靜電的同時，能直接被吸塵裝置產生的氣流從抽風箱進風口吸入。

較佳地，所述抽風裝置還包括外延支架，所述外延支架連接于所述抽風箱與所述靜電消除棒之間；有效的增加了靜電消除棒與粉塵的接觸空間，從而使得靜電消除棒對具有靜電的粉塵消除靜電的效率加快。

較佳地，所述抽風箱呈梯形，所述抽風箱進風口小于所述抽風箱出風口；增加了抽風箱在吸塵裝置的作用下的吸塵能力。