[發明專利]孔微力測量裝置的測量頭機構及其加工方法

無效

• 申請號: 200810216019.4
• 申請日: 2008-09-09
• 公開（公告）號: CN101387490A
• 公開（公告）日: 2009-03-18
• 發明（設計）人: 包萬紅;王虎;陳玨然
• 申請（專利權）人: 福群電子（深圳）有限公司
• 主分類號: G01B7/13
• 分類號: G01B7/13
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司
• 代理人: 曾旻輝

1.一種孔微力測量裝置的測量頭機構，包括一活動探針、兩個固定探針，其特征在于，還包括第一連接塊、第二連接塊、基座、拉板、活動部件及底板，所述第一連接塊分為第一連接塊a和第一連接塊b，

所述兩個固定探針分別設于第一連接塊a和第一連接塊b上，該第一連接塊a和b的背面與所述基座通過非導電膠緊密粘接，該第一連接塊a和b之間設有隙縫或通過非導電膠緊密粘接，所述基座固定于底板上；

所述活動探針設于第二連接塊的一端，該第二連接塊的另一端與所述拉板通過非導電膠緊密粘接，該拉板與活動部件固定連接，且該活動部件設于底板上，使所述活動探針在該拉板、活動部件的帶動下相對固定探針移動。

2.根據權利要求1所述的測量頭機構，其特征在于，所述設有活動探針的第二連接塊位于第一連接塊的凹槽中，且該第二連接塊在拉板、活動部件的帶動下沿該第一連接塊的凹槽移動，該第一連接塊凹槽的寬度大于第二連接塊的寬度，使第二連接塊與第一連接塊之間留有空隙。

3.根據權利要求1或2所述的測量頭機構，其特征在于，所述活動部件包括滑塊和導軌，該滑塊和導軌相適配，所述拉板與滑塊固定連接，所述導軌固定設于底板上。

4.根據權利要求1或2所述的測量頭機構，其特征在于，所述活動探針沿兩固定探針的垂直平分線的方向移動。

5.根據權利要求1所述的測量頭機構，其特征在于，所述非導電膠為環氧膠。

6.一種孔微力測量裝置的測量頭機構加工方法，其特征在于，包括如下步驟：

將設有固定探針的第一連接塊a、b與基座通過非導電膠粘接，并將設有活動探針的第二連接塊與拉板通過非導電膠粘接；

在120℃～150℃溫度下，放置20～40分鐘；

將設有固定探針的第一連接塊和設有活動探針的第二連接塊通過基座、拉板、活動部件及底板組裝在一起；

對固定探針及活動探針進行整體加工。

7.根據權利要求6所述的測量頭機構加工方法，其特征在于，在用非導電膠粘接之前，還包括步驟：對粘接部位進行清潔和除油工序，以使粘接部位保持潔凈。

8.根據權利要求6所述的測量頭機構加工方法，其特征在于，還包括步驟：檢測第一連接塊與基座之間、第二連接塊與拉板之間是否絕緣。

9.根據權利要求6所述的測量頭機構加工方法，其特征在于，所述活動部件包括滑塊和導軌，該滑塊和導軌相適配，在將第一連接塊和第二連接塊組裝一起時，包括：將拉板固定于該滑塊上，所述與第一連接塊粘接的基座以及該導軌共同固定于所述底板上。

10.根據權利要求6所述的測量頭機構加工方法，其特征在于，所述固定探針及活動探針的整體加工在數控機床上實現。