[發明專利]電感/變壓器及其制作方法

有效

• 申請號: 200810215672.9
• 申請日: 2008-09-12
• 公開（公告）號: CN101452761A
• 公開（公告）日: 2009-06-10
• 發明（設計）人: 陳升佑;曾國育
• 申請（專利權）人: 絡達科技股份有限公司
• 主分類號: H01F41/00
• 分類號: H01F41/00;H01F30/06;H01F27/36
• 代理公司: 北京律誠同業知識產權代理有限公司
• 代理人: 梁 揮;祁建國

技術領域

本發明有關于一種電感/變壓器及其制作方法，尤其設計一種主要以一模 擬器對電感/變壓器的電感值、品質因數及共振頻率進行模擬的電感/變壓器的 制作方法及根據該制作方法制造的電感/變壓器。

背景技術

隨著無線通訊裝置的廣泛使用，使得業界不斷對射頻集成電路(RFIC)的設 計及制造進行改進，例如縮小射頻集成電路的面積并提高產品成品率等。射頻 集成電路內部除了晶體管的使用之外，往往還存在有各種不同的被動元件，尤 其以電感為最常使用的被動元件，例如射頻集成電路內部的過濾器(filter)、放 大器等器件都必須使用到電感。

電感本身的品質因數(Q值，qualityfactor)、電感值及共振頻率皆會對電路 的設計及制作造成影響，例如具有高Q值的電感可以提供電路較好的特性， 而電感的共振頻率則會對電感值及Q值造成影響。因此當電路上有使用到電 感時，設計者必須依照電路的需求而將電感的Q值、電感值及共振頻率限制 在一特定的范圍之內。

現有技術中，電感真正的Q值、電感值及共振頻率往往是以實際測量的 方式取得，例如依照設計者本身的經驗制造大量不同的電感，并對制造的電感 進行電性測量及分析，以取得電感實際的Q值、電感值及共振頻率，而后再 依據實際測量的電感的Q值、電感值及共振頻率選擇適當的電感。

通過上述的方式雖然可以取得電感真正的Q值、電感值及共振頻率，但 是大量的制作電感并依序進行測量不僅會造成制造時間的增加，同時亦會提高 制造的成本。此外，為了使得電感可以提供電路較好的特性，往往會通過電感 內金屬層厚度的增加以提高電感的Q值。然而當所需金屬層厚度太大時，則 會造成無法以一般邏輯電路的制造方式進行電感的設置。

發明內容

本發明的主要目的，在于提供一種電感/變壓器的制作方法，主要以模擬 器對電感/變壓器的電感值、品質因數及共振頻率進行分析，并合成產生至少 一組第一導電層及導電層的面積、導電層數、線寬、圈數或線距，以控制第一 導電層及導電層的厚度小于1微米。

本發明的次要目的，在于提供一種電感/變壓器的制作方法，主要是以蒙 地卡羅模擬法(Monte?Carlo?Approach)對實際制作的電感/變壓器進行工藝變異 統計分析，并以工藝變異統計分析的結果對幾何尺寸進行調整以提高制造的成 品率。

本發明的又一目的，在于提供一種電感/變壓器，其中電感/變壓器的第一 導電層及導電層的厚度皆小于1微米，并可以一般邏輯電路的工藝完成電感/ 變壓器的設置。

本發明的又一目的，在于提供一種電感/變壓器，其中電感/變壓器的基底 上設置有一遮蔽單元，借此將可有效降低基板損失(Substrate?loss)。

本發明的又一目的，在于提供一種電感/變壓器，可通過最經濟通用的邏 輯電路工藝來整合射頻及高密度數字電路并成為系統單芯片(SoC，System?on Chip)。

本發明的又一目的，在于提供一種電感/變壓器，可針對半導體工藝變異、 封裝材料變異及系統級封裝(SiP，System?in?Package)中電感/變壓器所在的硅芯 片上方層疊設有其他硅芯片的情況，進行工藝變異分析以產生一工藝變異分析 的結果。

為實現上述目的，本發明提供一種電感/變壓器的制作方法，電感/變壓器 包括有至少一導電層及一第一導電層的層疊，其中電感/變壓器的制作方法包 括有以下步驟：輸入電感/變壓器的電感值、品質因數及共振頻率至一模擬器； 模擬器對電感/變壓器的電感值、品質因數及共振頻率進行分析，并合成產生 至少一組第一導電層及導電層的面積、導電層數、線寬、圈數或線距；依據合 成產生的面積、導電層數、線寬、圈數或線距，制作電感/變壓器；以一蒙地 卡羅模擬法(Monte?Carlo?Approach)對制作的電感/變壓器進行工藝變異統計分 析，并產生一工藝變異統計分析的結果；及依據工藝變異統計分析的結果，調 整工藝中第一導電層及導電層的面積、導電層數、線寬、圈數或線距。

此外，本發明尚提供一種電感/變壓器，主要包括有：一基板；至少一導 電層，設置于基板上；及一第一導電層，以層疊方式設置在導電層上，且導電 層及第一導電層的厚度皆小于1微米。

為使能更進一步了解本發明的特征及技術內容，請參閱以下有關本發明的 詳細說明與附圖，然而所附附圖僅提供參考與說明，并非用來對本發明加以限 制。