[發(fā)明專利]石英玻璃坩堝的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810215444.1
• 申請(qǐng)日: 2008-07-04
• 公開（公告）號(hào): CN101618941A
• 公開（公告）日: 2010-01-06
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 岸弘史;神田稔
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本超精石英株式會(huì)社
• 主分類號(hào): C03B20/00
• 分類號(hào): C03B20/00
• 代理公司: 中國(guó)專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 龐立志;孫秀武

1.石英玻璃坩堝的制造方法，其是一邊對(duì)充填于旋轉(zhuǎn)模具中的石英粉成形 體進(jìn)行抽真空一邊進(jìn)行電弧熔融而制造石英玻璃坩堝的方法，其特征在于，在 電弧熔融開始或電弧熔融中使電極相對(duì)于模具中心線相對(duì)地從模具中心線上向 側(cè)方移動(dòng)，在偏心位置進(jìn)行電弧熔融。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，進(jìn)行使電極在 模具中心線上進(jìn)行電弧熔融的整體加熱、和使電極在模具中心線外的偏心位置 進(jìn)行電弧熔融的局部加熱。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，整體加熱的時(shí) 間為電弧熔融總時(shí)間的60％以下。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，在局部加熱中， 保持電極前端中心與石英粉成形體的加熱部位的距離L2為從模具中心線至所 述加熱部位的距離L1的5～80％進(jìn)行加熱熔融。

5.根據(jù)權(quán)利要求1～4中任一項(xiàng)所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中， 將與多個(gè)電極前端相接的外接圓的面積設(shè)為710cm²以下，對(duì)該外接圓的圓內(nèi)整 體進(jìn)行電弧加熱。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，電極中心間的 距離為2cm～15cm。

7.石英玻璃坩堝，其是通過權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的方法制造的， 其特征在于，彎曲部?jī)?nèi)面的曲率W2為彎曲部外面的曲率W1的0.8～1.2倍。

8.石英玻璃坩堝，其是通過權(quán)利要求1～6中任一項(xiàng)所述的方法制造的坩 堝，其中，在距坩堝整體的內(nèi)表面1.0mm的厚度范圍，0.5mm以上的內(nèi)部氣泡 在整個(gè)彎曲部為5個(gè)以下。

9.石英玻璃坩堝的制造裝置，其中，電弧電極和旋轉(zhuǎn)模具的至少任一個(gè)具 有向側(cè)方移動(dòng)的裝置，電弧電極相對(duì)于旋轉(zhuǎn)模具的相對(duì)位置可以是從模具中心 線上向側(cè)方偏心的。