[發明專利]壓電器件及其制造方法

有效

• 申請號: 200810215355.7
• 申請日: 2008-09-05
• 公開（公告）號: CN101383599A
• 公開（公告）日: 2009-03-11
• 發明（設計）人: 土戶健次;黑田貴大
• 申請（專利權）人: 愛普生拓優科夢株式會社
• 主分類號: H03H9/02
• 分類號: H03H9/02;H03H9/19;H03H3/02
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司
• 代理人: 黃綸偉

1.一種壓電器件，包括下側基板和上側基板、以及夾在它們之間的 中間基板，其特征在于，

所述中間基板具有：

壓電振動部；

包圍在所述壓電振動部周圍的框架部；

連接所述壓電振動部和所述框架部的連接部；

設于所述壓電振動部上表面的第1激勵電極；

設于所述壓電振動部下表面的第2激勵電極；

與所述第1激勵電極電連接的第1布線；以及

與所述第2激勵電極電連接的第2布線，

連接所述框架部的上表面和下表面的內側面具有與所述框架部的上 表面或下表面形成的內角大于90度的傾斜面，

所述第1布線或第2布線設于所述傾斜面的表面上。

2.根據權利要求1所述的壓電器件，其特征在于，

所述框架部具有設于其下表面且從該框架部內側連通到外側的第1 凹部，

所述第1布線在所述第1凹部內延伸。

3.根據權利要求2所述的壓電器件，其特征在于，

所述框架部還具有設于其下表面、且從該框架部內側連通到外側、 且設于與所述第1凹部對置的位置上的第2凹部，

所述第2布線在所述第2凹部內延伸。

4.根據權利要求1～3中任一項所述的壓電器件，其特征在于，所 述傾斜面形成為兩段，所述第1布線形成于所述兩段傾斜面雙方。

5.根據權利要求1～3中任一項所述的壓電器件，其特征在于，

所述框架部的內側面具有與所述框架部的上表面形成的內角大于 90度的第1傾斜面、和與所述框架部的下表面形成的內角大于90度的第 2傾斜面，

所述第1布線在所述第1傾斜面和所述第2傾斜面雙方延伸。

6.根據權利要求4所述的壓電器件，其特征在于，

所述框架部的內側面具有與所述框架部的上表面形成的內角大于 90度的第1傾斜面、和與所述框架部的下表面形成的內角大于90度的第 2傾斜面，

所述第1布線在所述第1傾斜面和所述第2傾斜面雙方延伸。

7.一種壓電器件的制造方法，該壓電器件包括下側基板和上側基 板、以及夾在它們之間的中間基板，其特征在于，該制造方法包括步驟 (a)、步驟(b)和步驟(c)，

在所述步驟(a)中，準備上側基板和下側基板以及中間基板，該中 間基板具有：壓電振動部；包圍在所述壓電振動部周圍的框架部；連接 所述壓電振動部和所述框架部的連接部；設于所述壓電振動部上表面的 第1激勵電極；設于所述壓電振動部下表面的第2激勵電極；與所述第1 激勵電極電連接的第1布線；與所述第2激勵電極電連接的第2布線； 以及設于所述框架部的下表面且從該框架部內側連通到外側的第1凹部 和第2凹部，

在所述步驟(b)中，使一對探頭接觸所述第1布線和所述第2布線， 調節所述壓電振動部的振動頻率，

在所述步驟(c)中，將所述上側基板和所述下側基板與所述中間基 板接合，

在所述步驟(a)中，所述第1布線在所述第1凹部內延伸，所述第 2布線在所述第2凹部內延伸，

在所述步驟(b)中，所述一對探頭的一方在所述第1凹部內與所述 第1布線接觸，所述一對探頭的另一方在所述第2凹部內與所述第2布 線接觸。

8.根據權利要求7所述的壓電器件的制造方法，其特征在于，

在所述步驟(a)中，

所述中間基板具有：排列在基板面方向上的多個壓電振動部；多個 所述第1激勵電極和多個所述第2激勵電極；多個所述第1布線和多個 所述第2布線；以及多個所述第1凹部和多個所述第2凹部，

設于一個框架部上的所述第1凹部具有與第2凹部連通的連通部， 所述第2凹部設于與該一個框架部相鄰的另一個框架部上，

所述下側基板具有多個貫通孔，

在所述步驟(c)中，

所述多個貫通孔分別將所述下側基板與所述中間基板接合，使得與 所述連通部重合，

在所述步驟(c)之后還包括：

在所述多個貫通孔中埋入導電材料的步驟；以及

沿著設于包括多個所述連通部在內的區域中的切斷線，將所述上側 基板、所述中間基板和所述下側基板切斷分開的步驟。