[發明專利]具有多層電極的微加工聲換能器

無效

• 申請號: 200810215255.4
• 申請日: 2008-09-22
• 公開（公告）號: CN101394685A
• 公開（公告）日: 2009-03-25
• 發明（設計）人: P·A·沃納;I·拉達鮑姆;K·J·杰克遜
• 申請（專利權）人: 美國西門子醫療解決公司
• 主分類號: H04R19/00
• 分類號: H04R19/00;H04R31/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 盧 江;劉春元

1.用于在電能和聲能之間轉換的膜(14)超聲換能器，所述換能器包括：

襯底(12)；

被支撐在襯底(12)上的膜(14)，空穴(16)將膜(14)與襯底(12)分離；

第一電極和第二電極(18，20)，所述第一電極(18)與第二電極(20)相比在空穴(16)的相對側；和

將第一電極(18)從空穴(16)分離的第一絕緣層(28，14)；

其中第一電極(18)包括至少兩個導電的或者半導電的電極層(22，24)，所述電極層(22，24)彼此歐姆接觸。

2.權利要求1的換能器，其中第一絕緣層(28，14)包括膜(14)。

3.權利要求1的換能器，其中第一絕緣層(28，14)在空穴(16)的與膜(14)相對的側。

4.權利要求3的換能器還包括：

包括膜(14)的第二絕緣層(28，14)；

其中第二電極(20)包括至少兩個導電的或者半導電的電極層(22，24)，所述電極層(22，24)彼此歐姆接觸。

5.權利要求1的換能器，其中至少兩個電極層(22，24)包括第一層(24)和第二層(22)，所述第一層(24)主要在所述絕緣層(28，14)鄰近于具有高電場的空穴(16)的這些區域內與絕緣層(28，14)接觸并且比第二層(22)具有較高的功函數。

6.權利要求1的換能器，其中至少兩個電極層(22，24)包括第一層(24)和第二層(22)，所述第一層(24)接觸絕緣層(28，14)并且比第二層(22)具有較高的電阻率。

7.權利要求6的換能器，其中第一層(24)具有大于或者等于4.5eV的功函數，并且第二層(22)具有等于或者小于3e^-8Ohm-cm的電阻率，第二層(22)比第一層(24)具有較低的功函數。

8.權利要求6的換能器，其中第一層(24)具有大于400兆帕斯卡拉伸的標稱應力，并且第二層(22)的標稱應力小于或者等于第一層(24)的標稱應力。

9.權利要求1的換能器，其中至少兩個電極層(22，24)包括第一層(24)和第二層(22)，所述第一層(24)包含鎢、鎢合金、鉻、鎳、鈷、鈹、金、鉑、鈀或者是具有其一種或者多種的材料，第二層(22)包含鋁、鋁合金、多晶硅、銅或者是具有其一種或者多種的材料。

10.權利要求1的換能器，其中至少兩個電極層(22，24)包括第一層(24)和第二層(22)，所述第一層(24)主要在鄰近于具有高電場的空穴(16)的區域中與絕緣層(28，14)接觸，并且第二層(22)在所述區域中主要與絕緣層(28，14)不接觸。

11.權利要求1的換能器，其中至少兩個電極層(22，24)包括第一層(24)和第二層(22)，所述第一層(24)主要與絕緣層(28，14)接觸并且具有小于或者等于第二層(22)的第二厚度的第一厚度。

12.用于形成電容式膜(14)超聲換能器的方法，此方法包括：

(a)在空隙(16)上方形成(46)柔性結構；并且

(b)在空隙(16)的相對側形成(42)電極(18，20)，第一電極(18)鄰近所述柔性結構，其中形成所述電極(18，20)的至少一個電極包括將鄰近絕緣層的至少兩個不同的導體分層。

13.權利要求12的方法，其中所述至少兩個不同的導體中的第一導體比所述至少兩個不同的導體中的第二導體具有較低的電阻率，所述第二導體在與空隙(16)相鄰的區域中將第一導體與絕緣層分離，第二導體在導體絕緣體界面處比第一導體具有較高的功函數。

14.權利要求12的方法，其中絕緣層是柔性結構，絕緣層將至少兩個不同的導體與空隙(16)分離；并且

其中形成(42)電極(18，20)包括形成兩個電極(18，20)，每個具有至少兩個不同的導體。