[發明專利]平板顯示器玻璃用處理裝置及處理系統

無效

• 申請號: 200810214374.8
• 申請日: 2008-09-05
• 公開（公告）號: CN101618947A
• 公開（公告）日: 2010-01-06
• 發明（設計）人: 趙裕鎬;鄭奉官
• 申請（專利權）人: STI株式會社
• 主分類號: C03C15/00
• 分類號: C03C15/00;C03C23/00
• 代理公司: 北京北翔知識產權代理有限公司
• 代理人: 鄭建暉;楊 勇

技術領域

本發明涉及用于處理平板顯示器(FPD：Flat?Panel?Display)玻璃的處理裝置及處理系統。更具體地，本發明涉及沒有噴射管嘴的實質性的振動也可以產生高于振動的效果的新方式的處理裝置及系統。

背景技術

作為處理FPD玻璃的工序有利用液態的清洗液、腐蝕液、顯影液等清洗、腐蝕、顯影或去膠的濕潤工序。

如圖1所示，一般在這種濕潤工序期間，FPD玻璃30由傳送機構20以一定的速度水平移動(A方向)，通過位于其上部的噴嘴管嘴10噴射液態的物質的同時，FPD玻璃表面被清洗、腐蝕、顯影、去膠(以下“處理”)。

作為上述噴射裝置有處理液通過以一定間隔排列的單位管嘴噴射的管嘴型噴射裝置和處理液通過狹縫以“一”字形噴射的狹縫型噴射裝置。

但是，如腐蝕處理那樣需要維持一定壓力以上的噴射壓的情況下，不能使用狹縫型噴射裝置，一直使用如圖2a所示的管嘴型噴射裝置。

但是，如圖2a所示的管嘴型噴射裝置的情況下，如圖2b所示，產生了經過管嘴的中心部P的FPD玻璃部分發生較多反應、隨著離開中心部發生較少反應的問題。

對此，為了處理的均勻性，本領域技術人員利用如圖3所示地以左右振動管嘴或回轉管的方法來謀求處理的均勻性。

但是，基于管回轉(swing)的處理液噴射裝置，不僅因回轉速度的不均勻現象而產生噴射時間的差異，而且噴射寬度、噴射角度不一定，隨著管的旋轉反復變化，未能得到所期望的均勻性。

基于管嘴的左右振動的處理液噴射裝置能夠得到比管回轉更優良的結果，但是這仍然如圖4b所示那樣，由于在將基于電機的曲柄的旋轉運動轉換成連桿的直線運動的過程中產生的速度的不均勻現象，管嘴在FPD玻璃的各地點停留的時間不相同。

因此，為了進一步提高的處理均勻性，需要可以實現勻速直線運動的儀器，但是存在不能解決極點處的速度反轉的技術性極限。

并且，如圖4a所示那樣的過去的處理液噴射裝置要整體振動較重的處理液噴射裝置，對電機等的振動相關部件施加較大負荷，所以故障發生頻率較高，隨著上述部件的運動，產生會污染FPD玻璃的塵埃等的粒子，還有需要確保用于噴射裝置的振動的空間的問題。

如上所述的問題隨著FPD玻璃的大型化提升為更嚴重的問題。

發明內容

對此，本申請人開發出新方式的FPD玻璃處理裝置及處理系統，不必使處理裝置的噴射管嘴實質性地振動，也得到與噴射管嘴隨著FPD玻璃的移動而勻速移動(或振動)相同的效果，解決基于上述振動的所有問題的同時，可以實現較高的處理均勻性。

本發明的目的在于提供一種用于處理平板顯示器玻璃的處理裝置及處理系統。

本發明的另一目的在于提供一種處理裝置及處理系統，即使沒有噴射管嘴的實質性的振動，也可以提供與噴射管嘴隨著FPD玻璃的移動而勻速移動(振動)相同的效果。

本發明的再一目的在于提供一種處理裝置及處理系統，通過使所有噴射管嘴均勻分布在與FPD玻璃的移動方向垂直的方向上，從而可以進行玻璃的均勻的處理。

本發明的再一目的在于提供一種處理裝置及處理系統，通過除去處理液噴射裝置的振動，不需要基于反應速度和節距的振動周期的最優化過程，可以帶來工序的簡化。

本發明的再一目的在于提供一種處理裝置及處理系統，通過除去處理液噴射裝置的振動，不需要用于實現振動的部件。

本發明的再一目的在于提供一種處理裝置及處理系統，通過除去用于實現振動的部件，從而可以實現設備結構的簡化、部件數量的減少、費用的削減、管理點的減少、MTBF(平均無故障時間)的增加、減少粉塵產生等。

本發明的再一目的在于提供一種處理裝置及處理系統，通過消除處理液噴射裝置的移動，可以減少設備所占的空間。

本發明的上述及其它目的可以通過詳細說明的本發明全部實現。下面，如下地詳細說明本發明的內容。

基于本發明的平板顯示器玻璃用處理裝置的特征在于，多個噴射管嘴在平板顯示器玻璃的移動方向上沒有重疊地排列成平行的多個線路。

優選，在上述多個線路的每一個上配置有相同數量的噴射管嘴；配置于同一線路上的噴射管嘴配置成以相同的間隔隔開。

此外，上述多個線路按照相對于平板顯示器玻璃的移動方向垂直或傾斜方向的線路配置成以相同的間隔隔開，上述噴射管嘴和相鄰的線路的對應的噴射管嘴在與平板顯示器玻璃的移動方向垂直的方向上配置成以相同的間隔隔開；從而得到宛如噴射管嘴隨著平板顯示器玻璃的移動而進行勻速直線運動那樣的效果。