[發(fā)明專(zhuān)利]長(zhǎng)晶爐拉晶桿

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810214280.0
• 申請(qǐng)日: 2008-08-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101660195A
• 公開(kāi)（公告）日: 2010-03-03
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 徐忠龍;劉哲銘;廖弘基;徐文慶;何思樺
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 昆山中辰矽晶有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): C30B15/00
• 分類(lèi)號(hào): C30B15/00
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 梁愛(ài)榮

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種長(zhǎng)晶爐拉晶桿，特別是指一種可使拉晶過(guò)程中晶棒 整體結(jié)構(gòu)筆直不會(huì)產(chǎn)生偏心的長(zhǎng)晶爐拉晶桿。

背景技術(shù)

隨著近年來(lái)科技的發(fā)達(dá)，光電產(chǎn)品在日常生活中的應(yīng)用更為廣泛， 而在光電產(chǎn)品中扮演重要關(guān)鍵性角色的各式晶體，成為科技發(fā)展的寵兒， 如何制得大直徑、缺陷少的晶體成為目前各家晶體生產(chǎn)大廠所汲汲營(yíng)營(yíng) 研制的重要技術(shù)。

而晶體的研制過(guò)程一般較為常見(jiàn)的有柴式法(Czochral?ski Method)、頂晶熔鹽法(top?seed?solution?growth)、浮熔區(qū)生長(zhǎng)法 (floating?zone?melting)、以及布式生長(zhǎng)法(bridgman?method)等， 其中最為常見(jiàn)的柴式法是利用將原料置于坩鍋中熔融，接續(xù)再利用位于 坩鍋上方的晶種插入坩鍋中的熔融液面、旋轉(zhuǎn)、上引來(lái)長(zhǎng)出晶棒。而柴 式長(zhǎng)晶法，其長(zhǎng)晶的程序可依照階段細(xì)分為(1)融化、(2)長(zhǎng)頸子 (necking)、(3)長(zhǎng)晶棒主體(body)及收尾(tail?growth)。

但現(xiàn)有技術(shù)中，因長(zhǎng)晶爐的轉(zhuǎn)動(dòng)裝置與晶種間距離較遠(yuǎn)，往往利用 一根較長(zhǎng)的陶瓷拉晶桿連接一起，但在形成接近收尾階段的晶體時(shí)，因 為隨著晶棒長(zhǎng)度逐漸增加，導(dǎo)致旋轉(zhuǎn)拉晶桿、坩鍋與晶棒旋轉(zhuǎn)中心產(chǎn)生 不一致，而使晶棒整體結(jié)構(gòu)極易產(chǎn)生偏心。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本發(fā)明遂針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)的缺點(diǎn)，提出一種嶄新的長(zhǎng) 晶爐拉晶桿，以有效克服上述問(wèn)題，本發(fā)明的主要目的在提供一種長(zhǎng)晶 爐拉晶桿，其使晶柱的成長(zhǎng)過(guò)程到尾端時(shí)，晶種與坩鍋的旋轉(zhuǎn)中心仍可 以保持同心，進(jìn)而獲得筆直的晶棒。

本發(fā)明的另一目的在提供一種嶄新的長(zhǎng)晶爐拉晶桿，其包含有一上 圓柱筒，其周?chē)哂腥齻€(gè)貫穿圓柱筒壁的穿孔；一頂端是呈現(xiàn)球狀且容 設(shè)于上圓柱筒內(nèi)的定位桿；三個(gè)穿設(shè)過(guò)穿孔并抵于定位桿的球狀頂端的 定位栓；以及一設(shè)于定位桿下端用以容設(shè)晶種的下圓柱體。本發(fā)明通過(guò) 長(zhǎng)晶爐拉晶桿內(nèi)的定位桿與定位栓間的動(dòng)態(tài)平衡關(guān)系，來(lái)達(dá)到實(shí)時(shí)的調(diào) 整晶種與坩鍋的旋轉(zhuǎn)中心維持在同心狀態(tài)。

本發(fā)明的再一目的在提供一種長(zhǎng)晶爐拉晶桿，其可以獲得質(zhì)量更佳 的晶棒。

為達(dá)上述的目的，本發(fā)明提供一種長(zhǎng)晶爐拉晶桿，其包含有一上圓 柱筒，其周?chē)哂腥齻€(gè)貫穿圓柱筒壁的穿孔；一定位桿，其頂端是呈現(xiàn) 球狀且容設(shè)于上圓柱筒內(nèi)；三個(gè)穿設(shè)過(guò)穿孔并抵于定位桿的球狀頂端定 位栓；以及一下圓柱體，其設(shè)于定位桿下端，以容設(shè)晶種。

本發(fā)明的有益效果：本發(fā)明由長(zhǎng)晶爐拉晶桿內(nèi)的定位桿與定位栓間 的動(dòng)態(tài)平衡關(guān)系，使拉晶的過(guò)程中，晶種與坩鍋的旋轉(zhuǎn)中心可以保持同 心，以使晶棒整體結(jié)構(gòu)筆直不會(huì)產(chǎn)生偏心，而產(chǎn)生質(zhì)量較為優(yōu)良的晶棒。

附圖說(shuō)明

圖1為本發(fā)明的長(zhǎng)晶爐拉晶桿的立體圖。

圖2為本發(fā)明的長(zhǎng)晶爐拉晶桿的俯視圖。

圖3為本發(fā)明的長(zhǎng)晶爐拉晶桿的A-A剖視圖。

圖4為本發(fā)明的長(zhǎng)晶爐拉晶桿應(yīng)用于長(zhǎng)晶爐時(shí)的示意圖。

【圖號(hào)說(shuō)明】

10??長(zhǎng)晶爐拉晶桿

12??突出部

14??上圓柱筒

16??定位桿

18??球狀頂端

20??定位栓

22??下圓柱體

24??坩鍋

26??熔融液面

28??晶棒

具體實(shí)施方式

下面通過(guò)具體實(shí)施例詳加說(shuō)明，更容易了解本發(fā)明的目的、技術(shù)內(nèi) 容、特點(diǎn)及其所達(dá)成的功效。

請(qǐng)一并參閱圖1～3，其各為本發(fā)明的長(zhǎng)晶爐拉晶桿的立體圖、俯視 圖與剖視圖。如圖所示，本發(fā)明的長(zhǎng)晶爐拉晶桿10包含有一上圓柱筒 14，上圓柱筒14的周?chē)哂腥齻€(gè)貫穿圓柱筒壁的穿孔(圖中未示)，此 三個(gè)穿孔將上圓柱筒14的圓周均分三等分，上圓柱筒14上方形成有一 突出部12，其可連接至長(zhǎng)晶爐裝置的旋轉(zhuǎn)器上；一定位桿16，其頂端是 球狀頂端18且容設(shè)于上圓柱筒14內(nèi)；三個(gè)定位栓20，其穿設(shè)過(guò)穿孔并 抵于定位桿16的球狀頂端18；以及一下圓柱體22，其設(shè)于定位桿16 下端，以容設(shè)晶種。

而上述的定位桿16的球狀頂端18的直徑可以是10微米(mm)。此 外，本發(fā)明的長(zhǎng)晶爐拉晶桿可應(yīng)用于藍(lán)寶石長(zhǎng)晶爐。