[發(fā)明專利]互相連接的多元件柵格拋光墊有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810212660.0 | 申請(qǐng)日： | 2008-08-15 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101367190A | 公開（公告）日： | 2009-02-18 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 江波;G·P·馬爾多尼 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 羅門哈斯電子材料CMP控股股份有限公司 |
| 主分類號(hào)： | B24B29/02 | 分類號(hào)： | B24B29/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 上海專利商標(biāo)事務(wù)所有限公司 | 代理人： | 陳哲鋒 |
| 地址： | 美國(guó)特*** | 國(guó)省代碼： | 美國(guó);US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 互相 連接 多元 柵格 拋光 | ||
1.一種可用來在拋光介質(zhì)的存在下對(duì)磁性基材、光學(xué)基材和半導(dǎo)體基材中的 至少一種進(jìn)行拋光的拋光墊，該拋光墊包括：
a)大量拋光元件，所述拋光元件具有高度、平均高度、斜率和平均斜率，所述 拋光元件沿垂直方向?qū)R且高度和斜率保持在平均高度和斜率的20％以內(nèi)，具有 第一端部和第二端部；
b)大量連接點(diǎn)，所述大量連接點(diǎn)中的每一個(gè)將至少三個(gè)拋光元件中的所述拋光 元件的第一端部與第二端部連接起來，形成疊層，所述各疊層表示拋光元件的第一 端部和第二端部之間沿垂直方向的厚度；
c)通過將連接所述拋光元件的大量連接點(diǎn)的順序的疊層連接起來形成的互連 柵格結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的拋光墊，其特征在于，所述連接點(diǎn)連接3-6個(gè)拋光元 件。
3.如權(quán)利要求1所述的拋光墊，其特征在于，所述拋光元件與恒定方向上的 每個(gè)連接點(diǎn)上面和下面的拋光元件對(duì)齊。
4.如權(quán)利要求1所述的拋光墊，其特征在于，每個(gè)拋光元件包括一系列搭接 件。
5.如權(quán)利要求1所述的拋光墊，其特征在于，所述互連的柵格缺少水平拋光 元件。
6.一種可用來在拋光介質(zhì)的存在下對(duì)磁性基材、光學(xué)基材和半導(dǎo)體基材中的 至少一種進(jìn)行拋光的拋光墊，該拋光墊包括：
a)大量拋光元件，所述拋光元件具有高度、平均高度、斜率和平均斜率，所 述拋光元件沿垂直方向?qū)R且高度和斜率保持在平均高度和斜率的20％以內(nèi)，具 有第一端部和第二端部；
b)大量連接點(diǎn)，所述大量連接點(diǎn)中的每一個(gè)將至少三個(gè)拋光元件中的所述拋光 元件的第一端部與第二端部連接起來，形成疊層，所述各疊層表示拋光元件的第一 端部和第二端部之間沿垂直方向的厚度；
c)通過將大量連接點(diǎn)的順序疊層連接起來形成的互連柵格結(jié)構(gòu)，所述連接點(diǎn) 將拋光元件連接起來，使得所述拋光元件通過多個(gè)連接點(diǎn)沿恒定的方向?qū)R。
7.如權(quán)利要求6所述的拋光墊，其特征在于，所述連接點(diǎn)連接3-6個(gè)拋光元 件。
8.如權(quán)利要求6所述的拋光墊，其特征在于，所述連接點(diǎn)連接3個(gè)拋光元件。
9.如權(quán)利要求6所述的拋光墊，其特征在于，每個(gè)拋光元件包括一系列搭接 件。
10.如權(quán)利要求6所述的拋光墊，其特征在于，所述互連的柵格缺少水平拋 光元件。
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