[發明專利]研磨裝置

無效

• 申請號: 200810212541.5
• 申請日: 2003-01-14
• 公開（公告）號: CN101352825A
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發明（設計）人: 宮澤信
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: B24B13/00
• 分類號: B24B13/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 楊松齡

1.一種研磨裝置，其特征在于，包括：保持被研磨物，且賦予前述被研磨物以自轉運動和擺動運動的被研磨物保持驅動部；保持具有圓頂狀部的彈性研磨體的研磨體安裝夾具；以及裝拆自如地裝設有前述研磨體安裝夾具，并使前述被研磨物保持驅動部的擺動中心與前述圓頂狀部的曲率中心一致且經由前述研磨體安裝夾具使前述彈性研磨體自轉的研磨體保持驅動部。

2.權利要求1中所述的研磨裝置，其特征在于，

構成為能夠根據前述彈性研磨體的前述圓頂狀部的曲率而改變前述彈性研磨體的保持位置，并可使前述圓頂狀部的曲率中心與前述擺動中心一致。

3.權利要求2中所述的研磨裝置，其特征在于，

前述彈性研磨體的保持位置的改變，是通過改變前述研磨體安裝夾具進行的，該研磨體安裝夾具具有根據前述彈性研磨體的前述圓頂狀部的曲率而改變保持前述彈性研磨體的高度的多種種類。