[發明專利]板狀體搬運裝置

有效

• 申請號: 200810211027.X
• 申請日: 2004-07-08
• 公開（公告）號: CN101342992A
• 公開（公告）日: 2009-01-14
• 發明（設計）人: 森屋進;村山繁人;森本雄一;池畑淑照;大野隆佳
• 申請（專利權）人: 株式會社大福
• 主分類號: B65G49/06
• 分類號: B65G49/06;B65G13/00;B65G51/03;B65G37/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 楊松齡

本申請為在先申請(申請日：2004年7月8日，申請號： 200410063505.9，發明名稱：板狀體搬運裝置)的分案申請。

技術領域

本發明涉及具有送風式支承裝置的板狀體搬運裝置，該送風式支 承裝置用于向被搬運的板狀體下表面供給清潔空氣，以非接觸狀態支 承所述板狀體。

背景技術

例如，在特開2002-321820號公報中記載的板狀體搬運裝置被用 于搬運液晶用玻璃基板等板狀體，其裝備了具有驅動旋轉體的推進力 施加裝置，一邊接觸支承所述板狀體兩端部分一邊施加沿搬運方向的 推進力。板狀體通過該推進力施加裝置使得兩端部被接觸支承，其中 間部分通過送風式支承裝置來支承。此外，還設置有送風式支承裝置。 其具有沿板狀體搬運路徑以規定間隔設置的多個空氣噴出部分以及含 有壓縮泵等的供給源。為了向多個空氣噴出部分分配供給來自供給源 的壓縮空氣，使用供給管將供給源與空氣噴出部分連接起來。將從空 氣噴出部分噴出的壓縮空氣供給到所述板狀體兩端部分之間，從而以 非接觸狀態支承板狀體。

另外，例如在特開2002-308423號公報中所記載的，作為以縱方 式或者與其接近的方式搬運板狀體的裝置，施加搬運方向上的推進力 的推進力施加裝置的構成為，具有一邊接觸支承所述板狀體下端部一 邊施加推進力的驅動旋轉體。通過該推進力施加裝置對兩端部分的一 端側進行接觸支承，通過送風式支承裝置以縱方式或者與其接近的方 式來支承被搬運的板狀體的中間部分。送風式支承裝置配置有沿著板 狀體搬運路徑以規定間隔配置的多個空氣噴出部分和含有吹風機的供 給源。為了向多個空氣噴出部分分配供給來自供給源的壓縮空氣，使 用供給管將供給源與空氣噴出部分連接起來。將從空氣噴出部分噴出 的壓縮空氣供給到所述板狀體的中間部分，從而以非接觸狀態支承板 狀體。

對于上述以前技術的板狀體搬運裝置來說，如果來自供給源的壓 縮空氣因其壓縮空氣量時常變化而產生了波動，則向板狀體下表面供 給的壓縮空氣也產生波動，從而被供給了空氣的板狀體的中間部分會 上下振動，會產生對板狀體施加很大負荷的負面影響。

此外，在以前的板狀體搬運裝置中，如果在送風式支承裝置內產 生某種異常而使清潔空氣的供給量減少，則因為降低了對搬運物的支 承力，所以搬運物通過送風式支承裝置被支承在比預定高度低的地方， 因此，搬運物與設置在其下方的送風式支承裝置接觸，使搬運物本身 或者送風式支承裝置破損的可能性增大。

同時，在以前的板狀體搬運裝置中，由于通過推進力施加裝置來 接觸支承搬運物的兩端部分，故如果送風式支承裝置的支承力降低， 則搬運物的中間部分下降而彎曲變形，因為其變形而有可能使搬運物 破損。這種情況尤其是在對搬運物為液晶用玻璃基板這種板狀體進行 搬運時更加明顯。

本發明的目的是提供一種板狀體搬運裝置，能夠抑制向板狀體下 表面供給的空氣的波動、減輕對板狀體的負荷。

本發明的另一目的是提供一種搬運裝置，即使當因為送風式支承 裝置的支承力降低而引起搬運物下降，也能抑制其搬運物的下降量而 防止送風式支承裝置的破損。

發明內容

本發明技術方案1所述的板狀體搬運裝置，具有送風式支承裝置， 用于向被搬運的板狀體的下表面供給清潔空氣，以非接觸狀態來支承 所述板狀體，所述板狀體搬運裝置的特征在于：所述送風式支承裝置 具有：除去塵埃的除塵過濾器，通過該除塵過濾器向所述板狀體的下 表面供給清潔空氣的送風裝置，以及允許通過了所述除塵過濾器的清 潔空氣通過、用于阻止異物向所述除塵過濾器一側落下的遮蔽體；所 述遮蔽體在與所述除塵過濾器之間形成有貯存所述清潔空氣的腔室。

即，通過送風式支承裝置可以向板狀體的下表面供給清潔空氣， 從而以非接觸狀態支承板狀體。此外，即使異物落下到送風式支承裝 置上面，也可以通過遮蔽體來阻止異物向除塵過濾器一側下落，從而 可以保護除塵過濾器。

而且，因為遮蔽體設置成形成有用于貯存清潔空氣的腔室，所以 即使通過送風裝置而吹送來的空氣產生波動，該波動也會因為允許腔 室內的清潔空氣壓力變化的緩沖作用而被吸收，從而可以降低向板狀 體下表面供給的清潔空氣的波動。因此，可以提供一種板狀體搬運裝 置，被供給了清潔空氣的板狀體中間部分的上下振動也會減少，可以 減輕對板狀體的負荷。