[發明專利]石英玻璃坩堝的制造方法

無效

• 申請號: 200810210328.0
• 申請日: 2008-07-10
• 公開（公告）號: CN101624258A
• 公開（公告）日: 2010-01-13
• 發明（設計）人: 岸弘史;神田稔
• 申請（專利權）人: 日本超精石英株式會社
• 主分類號: C03B20/00
• 分類號: C03B20/00
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司
• 代理人: 龐立志;孫秀武

1、一種石英玻璃坩堝的制造方法，其為對充填在模具內面的石英粉成形 體抽真空的同時，通過電弧電極的電弧放電將石英粉成形體熔融的坩堝的制造 方法，其特征在于，從所述石英粉成形體的緣端開始石英粉的熔融，其后，降 下所述電弧電極或提起模具，對比所述石英粉成形體的所述緣端下側的部分進 行加熱熔融。

2、如權利要求1所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，從所述石英粉成 形體的所述緣端開始石英粉的熔融，其后，依次加熱石英粉成形體的壁部、彎 曲部和底部，將石英粉成形體的內面整個面密封。

3、如權利要求1所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，在從電弧熔融開 始到電弧總時間的10％以內的時間內，將石英粉成形體的內面整個面密封。

4、如權利要求3所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，使直到石英粉成 形體的內面整個面被密封所熔融的石英玻璃層的厚度為3mm以下。

5、如權利要求1所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，在開始熔融所述 石英粉成形體的所述緣端的時刻，以沿模具的軸線方向的距離計，所述電極的 下端位于比所述石英粉成形體的所述緣端高要制造的石英玻璃坩堝的口徑的 20～150％的位置，在所述石英粉成形體的內面整個面上密封層形成結束的時 刻，以沿模具的軸線方向的距離計，所述電極的下端位于比石英粉成形體的緣 端低要制造的石英玻璃坩堝的口徑的-30～40％的位置。

6、如權利要求1所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，從所述緣端熔融 開始的時刻到密封層形成結束的時刻的所述電極和所述模具沿軸線方向的相對 移動量為要制造的石英玻璃坩堝的口徑的0～100％。

7、如權利要求1所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，從所述緣端熔融 開始的時刻到密封層形成結束的時刻的石英粉成形體的熔融厚度為0.05mm～ 3mm。

8、如權利要求1所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，從所述緣端的熔 融開始的時刻到密封層形成結束的時刻的時間為從緣端熔融開始的時刻到電弧 放電結束的電弧總時間的0.01％～10％。

9、如權利要求1所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，在制造所述石英 玻璃坩堝后，進一步具有使石英玻璃層的氣泡中的氣體脫氣的加熱工序。

10、如權利要求9所述的石英玻璃坩堝的制造方法，其中，所述加熱工序 將電弧熔融工序后的石英玻璃坩堝在爐內在1600～2500℃加熱0.2～2.0小時。