[發明專利]微機械推拉式可調諧光柵有效
| 申請號： | 200810204560.3 | 申請日： | 2008-12-15 |
| 公開（公告）號： | CN101493574A | 公開（公告）日： | 2009-07-29 |
| 發明（設計）人： | 李鐵;明安杰;周萍;劉延祥;周宏;王翊;王躍林 | 申請（專利權）人： | 中國科學院上海微系統與信息技術研究所 |
| 主分類號： | G02B26/00 | 分類號： | G02B26/00 |
| 代理公司： | 上海智信專利代理有限公司 | 代理人： | 潘振甦 |
| 地址： | 200050*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微機 推拉 調諧 光柵 | ||
1.一種微機械推拉式可調諧光柵，其特征在于所述的微機械推拉式可調諧光柵包括光柵條陣列、光柵鏈接梁、光柵支撐梁以及所連接的推驅動器和拉驅動器，其中，光柵條陣列通過光柵鏈接梁相連后構成光柵本體，再通過光柵支撐梁與推驅動器和拉驅動器相連構成微機械推拉式可調諧光柵。
2.按權利要求1所述的微機械推拉式可調諧光柵，其特征在于所述的光柵鏈接梁采用1級或多級細彈性梁。
3.按權利要求1所述的微機械推拉式可調諧光柵，其特征在于所述的推驅動器和拉驅動器為靜電梳齒驅動器或壓電驅動器。
4.按權利要求2所述的微機械推拉式可調諧光柵，其特征在于所述的1級或多級細彈性梁為U形彈性梁或V形彈性梁。
5.按權利要求1所述的微機械推拉式可調諧光柵，其特征在于推驅動器和拉驅動器位于光柵本體的一側或兩側；且在直流或交流電壓的驅動下帶動光柵支撐梁運動，對光柵鏈接梁產生推拉。
6.按權利要求4所述的微機械推拉式可調諧光柵，其特征在于所述的U形彈性梁包括兩根直彈性梁以及一根短梁，短梁的兩端分別與兩根直彈性梁的一端相連接，兩根直彈性梁的另一端分別連接光柵條陣列中的不同光柵條。
7.按權利要求4所述的微機械推拉式可調諧光柵，其特征在于所述的V形彈性梁為兩根斜彈性梁，斜彈性梁的一端與另一斜彈性梁相連，斜彈性梁的另一端與光柵條陣列中的光柵條相連。
8.按權利要求4或6所述的微機械推拉式可調諧光柵，其特征在于U形彈性梁通過組合形成多級U形彈性鏈接梁。
9.按權利要求4或7所述的微機械推拉式可調諧光柵，其特征在于V形彈性梁通過組合形成多級V形彈性鏈接梁。
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