[發明專利]一種濺射靶材的制造方法無效
| 申請號： | 200810204401.3 | 申請日： | 2008-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN101748361A | 公開（公告）日： | 2010-06-23 |
| 發明（設計）人： | 陳科;林明通 | 申請（專利權）人： | 上海廣電電子股份有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/06 | 分類號： | C23C14/06;C23C14/34;B22F3/14 |
| 代理公司： | 上海申匯專利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吳寶根 |
| 地址： | 200060*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 濺射 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種濺射靶材的制造方法，其特征在于，
1)將制造濺射靶材所需的金屬粉末和金屬氧化物粉末混合；
2)將混合后的金屬粉末和金屬氧化物粉末在模具中壓制成靶材的形狀；
3)將壓制好的靶材進行脫氣處理，然后進行燒結，燒結的環境是在真空或惰性氣氛中，燒結的溫度為金屬的平均熔點的70-80％。
2.根據權利要求1所述的濺射靶材的制造方法，其特征在于，所述的燒結溫度為200-400攝氏度，燒結壓力為150-200MPa，燒結時間為3-5個小時。
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