[發(fā)明專利]未采用非球面鏡的傅立葉透鏡系統(tǒng)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200810204356.1 | 申請日： | 2008-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN101509999A | 公開（公告）日： | 2009-08-19 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 關(guān)俊;徐榮偉;葛貴臣;李堯;韋學(xué)志;宋海軍 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海微電子裝備有限公司 |
| 主分類號： | G02B13/00 | 分類號： | G02B13/00 |
| 代理公司： | 上海思微知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所 | 代理人： | 屈 蘅;李時云 |
| 地址： | 201203上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 采用 球面鏡 傅立葉 透鏡 系統(tǒng) | ||
1.一種未采用非球面鏡的傅立葉透鏡系統(tǒng)，其特征在于，從物面至像面 沿其光軸方向依次包括：
第一彎月透鏡，凸面朝向像面；
第二彎月透鏡，凸面朝向像面；以及
雙凸透鏡，
其中，該第一彎月透鏡和該雙凸透鏡之間的沿軸空氣間隙小于20毫米；
其中該第一彎月透鏡的凹面半徑大于300毫米，凸面半徑小于100毫米。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傅立葉透鏡系統(tǒng)，該雙凸透鏡之后還包括沿光軸 依次排列的第一平面透鏡和第二平面透鏡，其中所述第一平面透鏡，采用的材 料為ZK11，所述第二平面透鏡，采用的材料為石英玻璃。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傅立葉透鏡系統(tǒng)，其中該第一彎月透鏡和該雙凸 透鏡的材料為ZK7。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傅立葉透鏡系統(tǒng)，其中該第二彎月透鏡的材料為 ZF6。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傅立葉透鏡系統(tǒng)，其中該第二彎月透鏡的凹面半 徑小于100毫米，凸面半徑小于120毫米。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傅立葉透鏡系統(tǒng)，其中
第一彎月透鏡的凹面半徑為700mm，其中心距離凸面12.1mm，孔半徑為 0.55mm，凸面半徑為33mm，孔半徑為22mm；
第二彎月透鏡的凹面半徑為32.66mm，其中心距離凸面4mm，孔半徑為 22mm，凸面半徑為71.78mm，孔半徑為24mm；以及
雙凸透鏡的第一凸面半徑為295.1mm，其中心距離第二凸面8.4mm，孔半 徑為25.5mm，第二凸面半徑為96.83mm，孔半徑為25.5mm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的傅立葉透鏡系統(tǒng)，其中在該傅立葉透鏡系統(tǒng)的像 面位置，還包括：
第一直角反射鏡，位于像面和光軸的交點，將照明光束沿光軸反射；
第二直角反射鏡，將照明光束反射至該第一直角反射鏡。
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