[發明專利]多晶硅還原反應爐無效
| 申請號： | 200810204124.6 | 申請日： | 2008-12-05 |
| 公開（公告）號： | CN101463498A | 公開（公告）日： | 2009-06-24 |
| 發明（設計）人： | 袁建中 | 申請（專利權）人： | 袁建中 |
| 主分類號： | C30B29/06 | 分類號： | C30B29/06;C01B33/03;C30B28/14 |
| 代理公司： | 上海開祺知識產權代理有限公司 | 代理人： | 李蘭英 |
| 地址： | 200030上海市徐*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 多晶 還原 反應爐 | ||
【權利要求書】：
1.一種多晶硅還原反應爐，包括爐體、置于爐體內的電極和與電極連接的硅芯、進氣口、排氣口，其特征在于，包括置于爐體開口處的活動爐門，與爐體分離并活動或固定的電極盤，所述爐體的中心軸線沿水平方向置放。
2.根據權利要求1所述的多晶硅還原反應爐，其特征在于，所述電極在電極盤上是一端固定或者兩端固定的。
3.根據權利要求1所述的多晶硅還原反應爐，其特征在于，所述進氣口和排氣口置于爐體上或活動爐門上。
4.根據權利要求1所述的多晶硅還原反應爐，其特征在于，所述爐體內還置有導軌。
5.根據權利要求4所述的多晶硅還原反應爐，其特征在于，所述電極盤上置有與導軌相匹配的滑軌或滑輪，或者置有支架。
6.根據權利要求1所述的多晶硅還原反應爐，其特征在于，所述與電極連接的硅芯是并聯排列。
7.根據權利要求1所述的多晶硅還原反應爐，其特征在于，所述與電極連接的硅芯是串聯排列。
8.根據權利要求1所述的多晶硅還原反應爐，其特征在于，所述與電極連接的硅芯是并聯串聯排列。
9.根據權利要求1所述的多晶硅還原反應爐，其特征在于，所述與電極連接的硅芯是串聯并聯排列。
10.根據權利要求1所述的多晶硅還原反應爐，其特征在于，所述置于爐體內的硅芯是垂直方向放置、或傾斜方向放置、或水平方向放置。
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