[發(fā)明專利]一種鋸齒形流道單向壓電微泵無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200810203962.1 | 申請日： | 2008-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN101424262A | 公開（公告）日： | 2009-05-06 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 張國賢;關(guān)炎芳 | 申請（專利權(quán)）人： | 上海大學(xué) |
| 主分類號： | F04B43/04 | 分類號： | F04B43/04 |
| 代理公司： | 上海上大專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人： | 何文欣 |
| 地址： | 200444*** | 國省代碼： | 上海;31 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 鋸齒形 單向 壓電 | ||
1.一種鋸齒形流道單向壓電微泵，包括泵體(1)、泵蓋(8)和驅(qū)動裝置，其特征在于：
a.所述泵體(1)上開有一個進(jìn)口腔(6)、一個泵腔(4)和一個出口腔(10)，所述泵腔(4)與進(jìn)口腔(6)和出口腔(10)之間分別由一條進(jìn)口鋸齒形流道(5)和出口鋸齒形流道(11)溝通；
b.所述泵體(1)與泵蓋(8)鍵合成一體，泵蓋(8)上有進(jìn)口(7)和出口(9)分別接通泵體(1)的進(jìn)口腔(6)和出口腔(10)；
c.所述驅(qū)動裝置的結(jié)構(gòu)是：一片柔性薄膜(2)粘貼在所述泵體(1)的下面，所述柔性薄膜(2)的下面正對準(zhǔn)所述泵腔(4)的下方，粘貼一片壓電陶瓷片(3)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋸齒形流道單向壓電微泵，其特征在于所述進(jìn)口鋸齒形流道(5)沿進(jìn)口腔(6)至泵腔(4)方向呈擴散形狀，而所述出口鋸齒形流道(11)沿泵腔(4)至出口腔(10)方向呈擴散形狀。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋸齒形流道單向壓電微泵，其特征在于所述柔性薄膜(2)采用聚二甲基硅氧烷薄膜。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋸齒形流道單向壓電微泵，其特征在于所述泵蓋(8)的材料為Pyrex7740玻璃或厚膜光阻SU-8。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的鋸齒形流道單向壓電微泵，其特征在于所述泵體(1)的材料為硅片或厚膜光阻SU-8。
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