[發明專利]對位檢測方法和對位檢測裝置

無效

• 申請號: 200810202473.4
• 申請日: 2008-11-10
• 公開（公告）號: CN101403829A
• 公開（公告）日: 2009-04-08
• 發明（設計）人: 李英俊;張愛云
• 申請（專利權）人: 友達光電（蘇州）有限公司;友達光電股份有限公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;H05K13/08
• 代理公司: 上海翼勝專利商標事務所
• 代理人: 翟 羽

1.一種對位檢測方法，其特征在于該對位檢測方法包括：

提供芯片，其中該芯片具有芯片對準標記；

提供透光基板，其中該透光基板設有基板對準標記；

對位該芯片的該芯片對準標記于該透光基板的該基板對準標記上；

利用第一檢測單元來穿透過該芯片，而擷取該芯片對準標記的位置；

利用第二檢測單元來穿透過該透光基板，而擷取該基板對準標記的位置；以及

比對該芯片對準標記的位置與該基板對準標記的位置。

2.根據權利要求1所述的對位檢測方法，其特征在于該比對步驟包括：判斷該芯片對準標記是否對準于該基板對準標記。

3.根據權利要求1所述的對位檢測方法，其特征在于該比對步驟包括：估算出該芯片對準標記與該基板對準標記之間的對位偏移量。

4.根據權利要求1所述的對位檢測方法，其特征在于該對位檢測方法更包括：

預壓該芯片于該透光基板上。

5.根據權利要求4所述的對位檢測方法，其特征在于：該擷取該芯片對準標記的位置的步驟、該擷取該基板對準標記的位置的步驟及該比對步驟是在該預壓步驟之前進行。

6.根據權利要求4所述的對位檢測方法，其特征在于：該擷取該芯片對準標記的位置的步驟、該擷取該基板對準標記的位置的步驟及該比對步驟是在該預壓步驟后進行。

7.根據權利要求3所述的對位檢測方法，其特征在于該對位檢測方法更包括：

根據該對位偏移量，調整該芯片與該透光基板的相對位置。

8.根據權利要求1所述的對位檢測方法，其特征在于該對位檢測方法更包括：

壓合該芯片于該透光基板上。

9.一種對位檢測裝置，用以檢測芯片在透光基板上的對位情形，其中該芯片具有芯片對準標記，該透光基板設有基板對準標記，其特征在于該對位檢測方法包括：

第一檢測單元，用以穿透過該芯片來擷取該芯片對準標記的位置；

第二檢測單元，用以穿透過該透光基板來擷取該基板對準標記的位置；以及

處理單元，用以比對該芯片對準標記的位置與該基板對準標記的位置。

10.根據權利要求9所述的對位檢測裝置，其特征在于：該第一檢測單元包括紅外線影像擷取單元以及顯微鏡；該第二檢測單元包括影像擷取單元以及顯微鏡。

11.根據權利要求9所述的對位檢測裝置，其特征在于：該處理單元是根據該芯片對準標記與該基板對準標記的位置比對結果來判斷該芯片對準標記是否對準于該基板對準標記。

12.根據權利要求9所述的對位檢測裝置，其特征在于：該處理單元是根據該芯片對準標記與該基板對準標記的位置比對結果來估算該芯片對準標記與該基板對準標記之間的對位偏移量。

13.根據權利要求12所述的對位檢測裝置，其特征在于該對位檢測裝置更包括：

對位調整裝置，用以根據該對位偏移量來對該芯片與該基板的相對位置進行調整。

14.根據權利要求9所述的對位檢測裝置，其特征在于該對位檢測裝置更包括：

預壓頭，用以預壓該芯片于該透光基板上。

15.根據權利要求9所述的對位檢測裝置，其特征在于該對位檢測裝置更包括：

顯示器，電性連接于該處理單元，用以顯示該芯片對準標記與該基板對準標記的位置比對結果。