[發(fā)明專(zhuān)利]微電鑄裝置

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810200426.6
• 申請(qǐng)日: 2008-09-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101376996A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-03-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 汪紅;湯俊;劉瑞;王志民;丁桂甫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海交通大學(xué)
• 主分類(lèi)號(hào): C25D1/00
• 分類(lèi)號(hào): C25D1/00
• 代理公司: 上海交達(dá)專(zhuān)利事務(wù)所
• 代理人: 王錫麟;王桂忠

1.一種微電鑄裝置，包括：陰極夾具，陰極，電鑄液攪拌管，進(jìn)液口，電場(chǎng)分布擋板，電場(chǎng)分布擋板定位擋板，出液口，陽(yáng)極，微電鑄槽，其特征在于：所述的微電鑄槽至少具有底板和側(cè)板，并在其內(nèi)部注入電鑄液，陽(yáng)極和陰極夾具垂直設(shè)置于微電鑄槽的側(cè)面成彼此面對(duì)，陰極置于陰極夾具中，微電鑄槽的側(cè)板中設(shè)置有固定陽(yáng)極和陰極夾具的定位擋板以及多個(gè)電場(chǎng)分布擋板定位擋板，電場(chǎng)分布擋板置于陽(yáng)極與陰極之間，進(jìn)液口置于與陰極相鄰的側(cè)板的下方，電鑄液攪拌管置于陰極的正下方，并與進(jìn)液口相連，出液口置于與陽(yáng)極相鄰的側(cè)板的上方。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微電鑄裝置，其特征是，所述電場(chǎng)分布擋板與陰極間的距離通過(guò)設(shè)置于微電鑄槽側(cè)板中的多個(gè)電場(chǎng)分布擋板定位擋板調(diào)節(jié)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的微電鑄裝置，其特征是，所述電場(chǎng)分布擋板由電場(chǎng)分布擋板基座和電場(chǎng)分布擋板圓蓋組成，電場(chǎng)分布擋板基座是尺寸與陽(yáng)極、陰極板側(cè)的側(cè)板面積相同平板，所述平板中間開(kāi)圓形窗口、且在圓形窗口位置粘接一端帶外螺紋的直徑與圓形窗口直徑相等的圓管；電場(chǎng)分布擋板圓蓋是一個(gè)帶有內(nèi)螺紋的圓蓋，圓蓋中間開(kāi)有多組同心圓窗口，所述圓蓋與所述圓管以螺紋方式旋轉(zhuǎn)固定。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微電鑄裝置，其特征是，所述陰極夾具分前夾具和后夾具兩部分，前夾具中間有圓形窗口，窗口直徑比晶圓尺寸小，窗口背面離邊緣一段距離處設(shè)置一導(dǎo)電溝槽，內(nèi)置電連接鈦環(huán)，用于與晶圓邊緣導(dǎo)電層相連，窗口正面離邊緣一定距離處設(shè)置一環(huán)形溝槽，內(nèi)置環(huán)形輔助陰極，與陰極電連接；前夾具的背面對(duì)稱(chēng)布置四個(gè)固定插口，當(dāng)晶圓正面邊緣導(dǎo)電層與內(nèi)置電連接導(dǎo)電環(huán)接觸后，前夾具和后夾具相互錨合以固定晶圓試片。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的微電鑄裝置，其特征是，所述后夾具為一臺(tái)階圓形板，所述后夾具背面中間位置開(kāi)一內(nèi)嵌圓，所述內(nèi)嵌圓的直徑大于晶圓直徑，內(nèi)置一彈性膠墊。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微電鑄裝置，其特征是，所述電鑄液攪拌管為一直管，一端封閉，一端與進(jìn)液口連接，其上鉆有多個(gè)小孔。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的微電鑄裝置，其特征是，所述電場(chǎng)分布擋板定位擋板為絕緣材料，呈長(zhǎng)條狀，垂直固定在每一塊所述微電鑄槽的側(cè)板上。