[發明專利]一種高量程壓阻加速度傳感器共振頻率的測試方法

有效

• 申請號: 200810200112.6
• 申請日: 2008-09-19
• 公開（公告）號: CN101354284A
• 公開（公告）日: 2009-01-28
• 發明（設計）人: 鮑海飛;宋朝輝;李昕欣;姜偉
• 申請（專利權）人: 中國科學院上海微系統與信息技術研究所
• 主分類號: G01H13/00
• 分類號: G01H13/00
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 潘振甦

1.一種高量程壓阻加速度器共振頻率的測試方法，其特征在于利用金屬端面之間碰撞產生較高的加速度和頻率成份分布豐富的波作為激勵源，當激勵源中某些頻率的波與高量程壓阻加速度傳感器的固有模態的頻率等于或者接近時，器件高量程壓阻加速度傳感器發生共振，利用共振激發的方式以獲得高量程壓阻加速度傳感器的共振頻率：具體是高量程加速度傳感器器件的管腳輸出與放大器連接，從放大器輸出的信號通過電纜線連接到計算機的輸入端，記錄金屬端面之間碰撞過程產生應變波，從對應變波的分析測出共振頻率；所述的高量程加速度傳感器的量程為5,000g到100,000g。

2.按權利要求1所述的高量程壓阻加速度器共振頻率的測試方法，其特征在于所述金屬端面之間碰撞有兩種情況：一種是將高量程壓阻傳感器安裝固定在金屬桿或鋁合金桿的頂端；或固定在金屬塊上，為金屬桿或鋁合金桿自由落體沖擊碰撞一個固定在地面上的金屬鉆產生碰撞；另一種是將高量程壓阻加速度傳感器安裝固定在一個金屬塊上，金屬塊在固定的軌道上運動，然后與另一金屬鉆碰撞。

3.按權利要求2所述的高量程壓阻加速度器共振頻率的測試方法，其特征在于所述的高量程壓阻傳感器安裝固定在金屬桿或鋁合金桿的頂端有下述三種情況：

(a)高量程壓阻加速度傳感器器件安裝在金屬桿或鋁合金桿的側壁，高量程壓阻加速度傳感器器件的敏感方向為Y方向，傳感器管腳方向與金屬桿或鋁合金桿的長度方向平行；

(b)高量程壓阻加速度傳感器器件安裝在金屬桿或鋁合金桿側壁，高量程壓阻加速度傳感器器件的非敏感方向為x方向，傳感器的管腳方向與金屬桿或鋁合金桿長度方向互相垂直；

(c)高量程壓阻加速度傳感器器件安裝在金屬桿或鋁合金桿的頂端，高量程加速度傳感器器件非敏感方向為z方向；

所述的高量程壓阻加速度傳感器器件是用雙面膠固定在金屬桿或鋁合金桿上的凹口中。

4.按權利要求1所述的高量程壓阻加速度器共振頻率的測試方法，其特征在于對產生的應變波從以下兩種方法中任一種進行分析：

方法(a)從時域上，對獲得的隨時間變化的輸出波形，計算在一定時間間隔內的波形峰值數目，按頻率f和波形周期時間T的關系計算

即f=1T]]>

方法(b)從頻域上，對獲得的輸出數據通過付麗葉變換得到功率譜，即輸出強度與頻率的關系，從峰的位置上確定高量程壓阻加速度傳感器器件的共振頻率。

5.按權利要求1所述的高量程壓阻加速度器共振頻率的測試方法，其特征在于所述的高量程壓阻加速度傳感器為硅懸臂梁式。