[發(fā)明專利]一種光刻機(jī)同步觸發(fā)在線診斷方法及系統(tǒng)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810200085.2
• 申請(qǐng)日: 2008-09-18
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101359187A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-02-04
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 周金明;池峰;黃芳
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海微電子裝備有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/20
• 分類號(hào): G03F7/20
• 代理公司: 上海智信專利代理有限公司
• 代理人: 王潔

1.一種光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：包括

一個(gè)主控制器(1)，

至少兩個(gè)分系統(tǒng)：其中

所述分系統(tǒng)均包括一個(gè)分系統(tǒng)控制器(2)，

所述分系統(tǒng)均包括一個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板(4)，

所述分系統(tǒng)均包括至少一個(gè)分系統(tǒng)控制子卡(3)；

所述主控制器(1)分別與所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制器(2)相連接，

所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制器(2)分別與該一個(gè)分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制子卡(3)均保持連接，

所述分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制器(2)分別與該一個(gè)分系統(tǒng)中的每個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板(4)均保持相連，

所述分系統(tǒng)中的每個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板(4)分別與該一個(gè)分系統(tǒng)中的每個(gè)分系統(tǒng)控制子卡(3)均保持連接；

所述分系統(tǒng)的每個(gè)觸發(fā)診斷緩沖板(4)之間通過(guò)硬件同步信號(hào)線相互連接。

2.如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述的主控制器(1)與所述分系統(tǒng)內(nèi)的所述分系統(tǒng)控制器(2)之間通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)以太網(wǎng)連接。

3.如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述分系統(tǒng)控制器(2)與所述分系統(tǒng)控制子卡(3)之間通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)的?VME總線相連。

4.如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)與所述分系統(tǒng)控制器(2)之間通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)VME總線相連。

5.如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)與所述分系統(tǒng)控制子卡(3)之間通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)VME總線相連。

6.如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)之間通過(guò)硬件同步信號(hào)線相互連接，用于同時(shí)接收觸發(fā)診斷請(qǐng)求信號(hào)(5)和觸發(fā)診斷信號(hào)(6)。

7.如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述的主控制器(1)上運(yùn)行上位機(jī)操作系統(tǒng)、光刻機(jī)應(yīng)用軟件和觸發(fā)診斷系統(tǒng)的上位機(jī)處理程序；其中，觸發(fā)診斷系統(tǒng)的上位機(jī)處理程序?qū)γ總€(gè)分系統(tǒng)的診斷數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、排序、整理。

8.如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述的分系統(tǒng)控制器(2)為嵌入式微處理器，其上運(yùn)行嵌入式實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)，分系統(tǒng)控制器上同時(shí)運(yùn)行觸發(fā)診斷處理軟件。

9.如權(quán)利要求8所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述觸發(fā)診斷處理軟件包括診斷觸發(fā)接口程序庫(kù)，分系統(tǒng)控制器(2、)和分系統(tǒng)控制子卡(3)分別通過(guò)調(diào)用觸發(fā)診斷接口程序庫(kù)，將需要診斷的數(shù)據(jù)寫入觸發(fā)診斷緩沖板(4)。

10.如權(quán)利要求9所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：?所述診斷觸發(fā)接口程序庫(kù)，包括嵌入式實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)中的庫(kù)程序和數(shù)字信號(hào)處理器固件上的庫(kù)程序。

11.如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述分系統(tǒng)控制子卡(3)為數(shù)字信號(hào)處理器控制板卡。

12.如權(quán)利要求1或11所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述的分系統(tǒng)控制子卡(3)上運(yùn)行數(shù)字信號(hào)處理器固件程序。

13.如權(quán)利要求1或5所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)均設(shè)置有環(huán)形緩沖區(qū)，用于存放每個(gè)分系統(tǒng)控制器(2)及每個(gè)分系統(tǒng)控制子卡(3)的診斷數(shù)據(jù)。

14.如權(quán)利要求13所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)的環(huán)形緩沖區(qū)，其數(shù)據(jù)更新時(shí)間間隔不小于同步系統(tǒng)中的最小對(duì)準(zhǔn)周期。

15.如權(quán)利要求14所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：在光刻機(jī)正常掃描期間，所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)持續(xù)刷新觸發(fā)診斷緩沖板(4)的環(huán)形緩沖區(qū)的診斷數(shù)據(jù)。

16.如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：所述觸發(fā)診斷緩沖板(4)內(nèi)部設(shè)有定時(shí)器，用于設(shè)定環(huán)形緩沖區(qū)的鎖定時(shí)間。

17.如權(quán)利要求1所述的光刻機(jī)同步觸發(fā)診斷系統(tǒng)，其特征在于：還包括便攜式PC機(jī)(7)，與每個(gè)觸發(fā)緩沖板(4)均可單獨(dú)相連，便攜式PC機(jī)上可運(yùn)行觸發(fā)診斷上位機(jī)程序，用于對(duì)診斷數(shù)據(jù)進(jìn)行記錄、?排序、整理。