[發明專利]電光學裝置的制造方法及液狀物噴出裝置

有效

• 申請號: 200810189449.1
• 申請日: 2008-12-24
• 公開（公告）號: CN101471428A
• 公開（公告）日: 2009-07-01
• 發明（設計）人: 后藤正嗣;酒井真理
• 申請（專利權）人: 精工愛普生株式會社
• 主分類號: H01L51/56
• 分類號: H01L51/56;H01L51/00;H01L27/32;B05B9/00;B41J2/01
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司
• 代理人: 雒運樸;李 偉

1.一種電光學裝置的制造方法，具備向基板上形成的凹部內噴出 溶劑中混合了功能層形成材料的液狀物，將該液狀物充填到所述凹部內 的充填工序；和從該液狀物中除去溶劑成分，使所述功能層形成材料固 定在所述凹部內的固定工序，其特征在于，

在所述充填工序中，作為液狀物，充填功能層形成材料濃度根據所 述凹部的開口寬度的大小而不同的液狀物。

2.根據權利要求1所述的電光學裝置的制造方法，其特征在于，

在所述液狀物充填工序中，將所述液狀物充填到在所述凹部中以彎 液面鼓出的狀態，作為所述液狀物，與開口寬度相對寬的所述凹部相比， 對開口寬度相對窄的所述凹部充填功能層形成材料濃度高的液狀物。

3.根據權利要求1或2所述的電光學裝置的制造方法，其特征在 于，

當根據開口寬度的大小使向所述凹部充填的所述液狀物的功能層 形成材料濃度不同時，

作為所述液狀物，不僅向所述凹部內噴出功能層形成材料濃度不同 的多種液狀物，還根據所述開口寬度的大小使該多種液狀物向所述凹部 內的噴出量均衡度不同。

4.根據權利要求1或2所述的電光學裝置的制造方法，其特征在 于，

當根據開口寬度的大小使向所述凹部充填的所述液狀物的功能層 形成材料濃度不同時，

根據所述開口寬度的大小使向所述凹部內噴出的所述液狀物的功 能層形成材料濃度不同。

5.根據權利要求1或2所述的電光學裝置的制造方法，其特征在 于，

所述開口寬度不同的凹部，形成在不同的基板上。

6.根據權利要求1或2所述的電光學裝置的制造方法，其特征在 于，

所述功能層形成材料在所述基板上形成有機電致發光元件的有機 功能層。

7.一種液狀物噴出裝置，具有供給在溶劑中混合了功能層形成材 料的液狀物的液狀物供給部；和經由流路與該液狀物供給部連接，且具 備向電光學裝置用基板上形成的凹部內噴出所述液狀物的噴嘴開口的 噴出頭；其特征在于，

所述噴出頭根據所述凹部的開口寬度的大小，使向所述凹部內充填 的所述液狀物的功能層形成材料濃度不同。

8.根據權利要求7所述的液狀物噴出裝置，其特征在于，

對于所述噴出頭而言，將所述液狀物充填到在所述凹部中以彎液面 鼓出的狀態，作為所述液狀物，與開口寬度相對寬的所述凹部相比，對 開口寬度相對窄的所述凹部充填功能層形成材料濃度高的液狀物。

9.根據權利要求7或8所述的液狀物噴出裝置，其特征在于，

所述液狀物供給部具備多個分別供給功能層形成材料濃度不同的 多種所述液狀物的濃度不同液狀物供給部，

所述噴出頭作為所述噴嘴開口而具備多個濃度不同噴嘴開口，該多 個濃度不同噴嘴開口分別與所述多個濃度不同液狀物供給部連接，向所 述凹部噴出功能層形成材料濃度不同的所述液狀物，

不僅從所述多個濃度不同噴嘴開口分別向所述凹部噴出所述多種 類的所述液狀物，還根據所述凹部的開口寬度的大小，控制從所述多個 濃度不同噴嘴開口噴出所述液狀物的噴出量均衡度。

10.根據權利要求7或8所述的液狀物噴出裝置，其特征在于，

所述液狀物供給部具備多個分別供給功能層形成材料濃度不同的 多種所述液狀物的濃度不同液狀物供給部，

所述噴出頭作為所述噴嘴開口而具備多個濃度不同噴嘴開口，該多 個濃度不同噴嘴開口分別與所述多個濃度不同液狀物供給部連接，噴出 功能層形成材料的濃度不同的所述液狀物，

不僅從所述多個濃度不同噴嘴開口中的任意一個向所述凹部噴出 所述液狀物，還根據凹部的開口寬度的大小，控制應該從所述多個濃度 不同噴嘴開口中的哪一個濃度不同噴嘴開口噴出所述液狀物。