[發(fā)明專利]一種全息光柵制作中曝光量的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810187630.9
• 申請(qǐng)日: 2008-12-29
• 公開（公告）號(hào): CN101430395A
• 公開（公告）日: 2009-05-13
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 李文昊;巴音賀希格;于宏柱;王長(zhǎng)庚;孔鵬
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所
• 主分類號(hào): G02B5/18
• 分類號(hào): G02B5/18;G03F7/20;G02B17/06;G02B7/182
• 代理公司: 長(zhǎng)春菁華專利商標(biāo)代理事務(wù)所
• 代理人: 劉樹清

1、一種全息光柵制作中曝光量的實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)裝置，包括光柵基底、潛像光柵、記錄光束、干涉場(chǎng)、光電接收器；其特征在于還包括記錄激光器(11)、平面反射鏡(12)、空間濾波器(13)、準(zhǔn)直反射鏡(14)、第一調(diào)整反射鏡(15)、第二調(diào)整反射鏡(16)、監(jiān)測(cè)激光器(21)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)(24)和顯示器(25)；在記錄激光器(11)的激光束傳播方向的光軸上置有平面反射鏡(12)，平面反射鏡(12)與光軸成45°角安裝，在平面反射鏡(12)的反射光的光路上置有空間濾波器(13)，在球面波傳播方向放置準(zhǔn)直反射鏡(14)，并且準(zhǔn)直反射鏡(14)的焦點(diǎn)位置位于球面波波源點(diǎn)，球面波波源點(diǎn)的位置在空間濾波器(13)的出口處，在準(zhǔn)直光束區(qū)域放置第一調(diào)整反射鏡(15)和第二調(diào)整反射鏡(16)，該準(zhǔn)直光束經(jīng)過第一調(diào)整反射鏡(15)和第二調(diào)整反射鏡(16)反射后分別變?yōu)榈谝皇涗浌?17)和第二束記錄光(18)，這兩束記錄光的交匯區(qū)域形成了干涉場(chǎng)(19)，在干涉場(chǎng)(19)內(nèi)放置涂有光致抗蝕劑的光柵基底(20)，當(dāng)涂有光致抗蝕劑的光柵基底(20)在干涉場(chǎng)(19)中被曝光后，在光柵基底(20)表面形成潛像光柵(22)；監(jiān)測(cè)激光器(21)的激光束照射在潛像光柵(22)上，在潛像光柵(22)的衍射光傳播方向放置光電接收器(23)，光電接收器(23)與數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)(24)用導(dǎo)線連接，數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)(24)的輸出端與顯示器(25)用導(dǎo)線連接。