[發(fā)明專利]網(wǎng)狀電極材料及其制造方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200810185512.4 | 申請日: | 2008-12-12 |
| 公開(公告)號: | CN101458432A | 公開(公告)日: | 2009-06-17 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 中村卓;荒勝浩;立石朋美 | 申請(專利權(quán))人: | 富士膠片株式會社 |
| 主分類號: | G02F1/167 | 分類號: | G02F1/167;G02F1/1343;G02F1/155;G09F9/00;H01L31/0224;H01L51/52 |
| 代理公司: | 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 | 代理人: | 朱 丹 |
| 地址: | 日本國*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 網(wǎng)狀 電極 材料 及其 制造 方法 | ||
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉及一種網(wǎng)狀電極材料、切斷該網(wǎng)狀電極材料獲得的電極材 料、使用該電極材料的電子元件及網(wǎng)狀電極材料的制造方法。
背景技術(shù)
到目前為止,作為在基材上層疊電極層和功能層,設(shè)計(jì)電極層露出的 部分、和在電極層之上設(shè)置了功能層的部分的方法,已知以下幾種方法。
一種方法是:在整個(gè)表面上涂敷紫外線(UV)固化型樹脂層(光刻 膠),通過掩膜進(jìn)行使用UV的圖形曝光,僅在通過顯影而露出的電極層 之上保留樹脂層,在其之上進(jìn)行相同涂敷,從而設(shè)置功能層,最后洗掉電 極層之上的樹脂層,露出電極層。
此外,作為其它方法,執(zhí)行以下方法:在電極層的整個(gè)表面上涂敷功 能層,在該功能層上整面涂敷光刻膠后,進(jìn)行圖形曝光,剝離功能層中去 除的部分的抗蝕劑,露出功能層,并溶解去除此部分功能層后,剝離剩余 的抗蝕劑,從而獲得已構(gòu)圖的功能層。
但是,這些方法不僅需要許多工序,而且為了在電極層上的涂膜層(光 刻膠層或功能層等)之上粘合掩膜并進(jìn)行曝光不得不進(jìn)行單片處理,難以 在低成本的情況下進(jìn)行大量生產(chǎn)。此外,在溶解從而去除功能層的情況下, 在該溶解工序中,會產(chǎn)生或損傷作為下層的電極層、或殘留功能層的未溶 解部分這樣的問題。此外,還產(chǎn)生不能完全剝離抗蝕劑的情況、和溶解的 抗蝕劑造成表面污染等問題。這些問題導(dǎo)致功能劣化、品質(zhì)穩(wěn)定性下降、 可靠性劣化。
因此,就對上述問題進(jìn)行各種研究。
例如,在專利文獻(xiàn)1中,公開了一種通過電解淀積在電極層的表面上 形成絕緣性樹脂層的方法。在專利文獻(xiàn)1所述的方法中,雖然通過利用電 極圖形的電解淀積法能夠選擇性地僅在電極層上設(shè)置功能層,但是事實(shí)上 卻不可能使電極層的一部分露出并在此電極層上設(shè)置功能層、以及用連續(xù) 它的網(wǎng)進(jìn)行制造。
此外,分別在專利文獻(xiàn)2中記載了一種使用多個(gè)印模型涂敷裝置的多 層涂敷方式,在專利文獻(xiàn)3中記載了一種使用擠壓型涂敷頭進(jìn)行二層以上 的同時(shí)疊層涂敷的涂敷裝置,在專利文獻(xiàn)4中記載了一種使用多層涂敷用 印模的、進(jìn)行滑動涂敷(slide?coat)或幕式涂敷(curtain?coat)的多層涂 敷裝置。但是,在專利文獻(xiàn)2~4中,沒有記載關(guān)于保留電極層中露出的 部分(通常相當(dāng)于引出電極的部分)從而在電極層上設(shè)置功能層的方法, 事實(shí)上就不可能使電極的一部分露出、設(shè)置多個(gè)功能層。
此外,在專利文獻(xiàn)5中記載了一種電子照相感光體制造用的浸漬涂敷 裝置。該裝置雖然能夠在電極層整面上設(shè)置功能層,但使電極的一部分露 出、設(shè)置功能層極其困難,事實(shí)上也是不可能的。
在專利文獻(xiàn)6中記載了一種通過預(yù)壓印(stamp)在支持體上形成親/ 疏水性區(qū)域、在其上全面涂敷功能層用的涂敷液、僅在親水性區(qū)域上設(shè)置 功能層的方法。但是,為了產(chǎn)生壓印的效果,需要使用強(qiáng)堿,通常用于電 極層的導(dǎo)電材料ZnO、ITO、Al、Ag等缺乏耐強(qiáng)堿性,應(yīng)用困難。
并且,在連續(xù)網(wǎng)上層疊功能層的情況下,雖然涂敷中通常為了使突緣 部(網(wǎng)的端部)的膜厚變厚,而使上部的功能層比下部的功能層涂敷寬度 變窄來進(jìn)行涂敷,但這樣進(jìn)行層疊時(shí),由于端部未層疊功能層,只有從已 露出的電極直至多個(gè)功能層的一部分未被涂敷的部分不具有顯示元件的 功能,因此就只能獲得圍繞邊緣厚的緣框的顯示元件。
即,在基材上以此順序設(shè)置電極層和功能層,具有電極層露出的部分、 和在電極層之上設(shè)置了功能層的部分的電極材料的制造中,在使用光刻膠 等的單片處理中,工序復(fù)雜、生產(chǎn)效率差,難以大量地大面積制造,并且 產(chǎn)生性能差異,導(dǎo)致品質(zhì)穩(wěn)定性、可靠性下降。
此外,在電極層之上設(shè)置功能層時(shí),在上述的連續(xù)涂敷方法中,實(shí)質(zhì) 上不能制造網(wǎng)狀電極材料。
除此以外,為了切斷由現(xiàn)有的連續(xù)涂敷方法制作的網(wǎng)狀電極材料用作 電極材料,需要使電極層露出的工序,并且由于電極層比功能層小,所以 在電極層的周圍會產(chǎn)生浪費(fèi)的部分,并且通過切斷的端面而使對置電極間 短路等,也產(chǎn)生上述的問題。
專利文獻(xiàn)1:JP特開2001-73193號公報(bào)
專利文獻(xiàn)2:JP特開2000-185254號公報(bào)
專利文獻(xiàn)3:JP特開2004-25002號公報(bào)
專利文獻(xiàn)4:JP特開2003-117463號公報(bào)
專利文獻(xiàn)5:JP特開平11—119451號公報(bào)
專利文獻(xiàn)6:JP特開2007-12878號公報(bào)
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G02F1-365 ..在光波導(dǎo)結(jié)構(gòu)中的





