[發(fā)明專利]圖案檢查裝置無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200810178239.2 | 申請日： | 2008-11-17 |
| 公開（公告）號： | CN101441182A | 公開（公告）日： | 2009-05-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 野本憲太郎;松田僚三 | 申請（專利權(quán)）人： | 優(yōu)志旺電機株式會社 |
| 主分類號： | G01N21/956 | 分類號： | G01N21/956 |
| 代理公司： | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人： | 徐冰冰;黃劍鋒 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 圖案 檢查 裝置 | ||
1.一種圖案檢查裝置，其特征為：
具備：對形成有圖案的工件照射反射照明光的反射照明機構(gòu)；對被上述反射照明機構(gòu)照明了的上述圖案進行攝像的攝像機構(gòu)；及保持工件的工件保持機構(gòu)，
在上述攝像機構(gòu)的視野內(nèi)，設(shè)有：將來自上述反射照明機構(gòu)的光朝攝像機構(gòu)進行反射的反射構(gòu)件。
2.一種圖案檢查裝置，其特征為：
具備：對形成有圖案的工件照射反射照明光的反射照明機構(gòu)；對被上述反射照明機構(gòu)照明了的上述圖案進行攝像的攝像機構(gòu)；保持工件的工件保持機構(gòu)；具備上述反射照明機構(gòu)與上述攝像機構(gòu)的攝像單元；及使上述工件保持機構(gòu)相對地移動的移動機構(gòu)，
在上述攝像機構(gòu)通過的區(qū)域，設(shè)有：將來自上述反射照明機構(gòu)的光朝攝像機構(gòu)進行反射的反射構(gòu)件。
3.一種圖案檢查裝置，其特征為：
具備：對形成有圖案的長條狀的薄膜工件照射反射照明光的反射照明機構(gòu)；對被上述反射照明機構(gòu)照明了的上述圖案進行攝像的攝像機構(gòu)；保持上述薄膜工件的工件保持機構(gòu)；及使具備上述反射照明機構(gòu)與上述攝像機構(gòu)的攝像單元朝上述工件的寬度方向移動的攝像單元移動機構(gòu)，
在上述攝像機構(gòu)通過的區(qū)域，設(shè)有：將來自上述反射照明機構(gòu)的光朝攝像機構(gòu)進行反射的反射構(gòu)件。
4.如權(quán)利要求3所述的圖案檢查裝置，其特征為：
上述反射構(gòu)件設(shè)置于工件保持機構(gòu)的工件的寬度方向兩側(cè)。
5.如權(quán)利要求1、2、3或4任一項所述的圖案檢查裝置，其特征為：
上述反射構(gòu)件，其反射面為倒圓錐狀或圓錐狀。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于優(yōu)志旺電機株式會社，未經(jīng)優(yōu)志旺電機株式會社許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200810178239.2/1.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。
- 同類專利
- 專利分類
G01N 借助于測定材料的化學或物理性質(zhì)來測試或分析材料
G01N21-00 利用光學手段，即利用紅外光、可見光或紫外光來測試或分析材料
G01N21-01 .便于進行光學測試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測試的材料在其中被激發(fā)，因之引起材料發(fā)光或入射光的波長發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學反應(yīng)的系統(tǒng)，測試反應(yīng)的進行或結(jié)果
G01N21-84 .專用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)
