[發明專利]用于噴墨成像裝置的打印頭芯片及其制造方法

無效

• 申請號: 200810177847.1
• 申請日: 2008-05-30
• 公開（公告）號: CN101428504A
• 公開（公告）日: 2009-05-13
• 發明（設計）人: 閔在植;白梧鉉;樸昌信
• 申請（專利權）人: 三星電子株式會社
• 主分類號: B41J2/14
• 分類號: B41J2/14;B41J2/16
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所
• 代理人: 陶鳳波

技術領域

本發明一般涉及一種用于噴墨成像裝置的打印頭芯片。更具體地說，本發明涉及一種用于熱驅型噴墨成像裝置的打印頭芯片及其制造方法。

背景技術

大體上，一臺噴墨成像裝置通過噴射墨到打印媒介例如一張紙上形成圖像。傳統的噴墨成像裝置的打印頭芯片包括一個熱驅型成像裝置的打印頭芯片，這已在韓國未審專利公報號2006-133127中公開，其包括一基底，一產生熱的加熱器，一含有墨腔室的腔室層以接收墨，一含有噴嘴的噴嘴層以噴射墨滴，這樣，加熱器產生的熱使墨腔室中的墨產生氣泡且通過氣泡的膨脹力來噴射墨滴。

由于用于傳統噴墨成像裝置的打印頭芯片的墨是粘性液體，由噴嘴噴射的墨滴出現拉長的形狀，呈現帶有尾巴的樣子。此外，拉長墨滴形成的點呈現卵形。因此，由卵形點很難得到高分辨率的打印結果。

發明內容

本發明提供了一種可形成充分球形的墨滴的噴墨成像裝置。

本發明的其它方面和應用，一部分將在如下描述中闡明，一部分將從描述中或本發明的實際運用中變得明顯。

前述和/或本發明其他方面及應用可以通過一個利用噴墨成像裝置的打印頭芯片實現，其包括一個形成在基底上以產生熱的加熱器，一腔室層形成于加熱器并含有墨腔室以接收墨，一形成于腔室層的噴嘴層并含有一個與一墨腔室相連通的噴嘴，一從加熱器傳播一部分熱量到噴嘴的傳熱層。

傳熱層包括第一傳熱部分，其穿過腔室層形成，并具有臨近于加熱器的第一端，和從第一傳熱部分的第二端延伸到噴嘴的第二傳熱部分。

打印頭芯片還包括一將基底與加熱器隔離開的隔熱層，和一個通過覆蓋在加熱器上以起保護作用的加熱器保護層。

打印頭芯片還包括一防空隙層，以防止因熱及墨腔室底面墨滴的腐蝕。

第一傳熱部分的第一端和防空隙層接觸。

進一步，傳熱孔可通過腔室層中墨腔室兩邊形成第一傳熱部分。

前述和/或本發明其他方面及應用可通過提供用于噴墨成像裝置的打印頭芯片的制造方法實現，該方法包括在基底上形成一加熱器，形成一含有用以接收墨的墨腔室的腔室層，一傳熱孔傳遞來自于加熱器的熱量，通過腔室層，在傳熱孔中形成第一傳熱部分，這樣熱量傳過腔室層，在墨腔室中形成犧牲層，在第一傳熱部分和犧牲層上形成接收來自于第一傳熱部分的熱量的第二傳熱部分，在腔室層和第二傳熱部分形成一含有噴嘴的噴嘴層，并移除犧牲層。

進一步，在基底上形成隔熱層之后，加熱器形成于隔熱層上。

進一步，在用來保護加熱器的加熱器保護層形成于加熱器上以及在加熱器保護層上形成防止氧化的防空隙層之后，，腔室層形成于防空隙層上。

前述和/或本發明其他方面及應用可以通過提供一用于噴墨成像裝置的打印頭芯片來實現，其包括一形成于基底用來產生熱的加熱器；一形成于基底上以包括用來噴射的墨的墨流動區域；一形成在上述墨流動區域上的噴嘴層，其含有一噴嘴，與墨流動區域連通；和一從加熱器傳遞部分熱到噴嘴的傳熱層。

墨流動區域包括于其中的墨，并使墨穿過打印頭芯片流到噴嘴。

前述和/或本發明其他方面及使用可以通過提供用于噴墨成像裝置的打印頭芯片的制造方法來實現，該方法包括：形成一加熱器于基底上；形成一墨流動區域，其包括以穿過的方式傳導加熱器產生的熱的傳熱孔；形成第一傳熱部分在傳熱孔中，這樣熱通過墨流動區域被傳導；形成一犧牲層于墨流動區域；形成第二傳熱部分以從第一傳熱部分接收熱，，并且延伸穿過犧牲層的一部分；形成一含一噴嘴的噴嘴層，其位于犧牲層和第二傳熱部分上；并且去除犧牲層。

附圖說明

從下面具體描述中，結合附圖，上述及本發明特征和作用，將變得明顯和更容易理解，在附圖中：

附圖1是示出根據本發明的一個實施例的一用于噴墨成像裝置的打印頭芯片的橫截面圖；且

附圖2至5是示出依據本發明的一實施例的一用于噴墨成像裝置的打印頭芯片的制造方法的橫截面圖。

具體實施方式

現在將對本發明實施例做出詳細介紹，其示例在附圖中示出，其中相同的參考數字始終表示相同的元件。下面參考附圖描述實施例，以解釋本發明。