[發明專利]管路堵塞偵測預警方法

無效

• 申請號: 200810177029.1
• 申請日: 2008-11-12
• 公開（公告）號: CN101737628A
• 公開（公告）日: 2010-06-16
• 發明（設計）人: 謝益壽
• 申請（專利權）人: 泰亞國際科技股份有限公司
• 主分類號: F17D5/00
• 分類號: F17D5/00
• 代理公司: 北京中博世達專利商標代理有限公司 11274
• 代理人: 申海慶

技術領域

本發明涉及一種偵測預警方法，具體涉及一種管路堵塞偵測預警方法。

背景技術

目前，管路結構被廣泛應用于各種機器設備中，以晶圓設備的管路而言，由于管路內部流道空間難免會逐漸積累污垢而致流道截面積減縮，因此最終往往會因為堵塞的問題導致管路運作效能衰退，造成生產良率下降，且堵塞的問題將日積月累，嚴重時，目前業界的情況通常是因為管路堵塞導致幫浦運作發生異常狀況時方加以停機維修，然如此將導致生產線停擺而造成業界莫大損失，且造成修復成本所費不咨、負擔沉重的問題。

對于新建的晶圓廠而言，自可導入新方法以及新設備來解決和預防管路堵塞的問題；但是，對于已經運作中的廠房和設備而言，若欲加入管路堵塞的預警機制，目前現有的方法技術大部份仍舊存在工法過于復雜且易影響原有系統設備運作的問題，導致實施困難、為相關業界所詬病。

是以，針對上述現有的管路結構堵塞的問題點，如何研發出一種能夠更具理想實用性的創新管路堵塞預警方法及系統設計，實有待相關業界再加以思索突破的目標及方向。

發明內容

本發明的主要目的在于提供一種管路堵塞偵測預警方法，其所欲解決的問題點在于：研發出一種確具理想實用性的管路堵塞偵測預警方法。

為達到上述目的，本發明的實施例采用如下技術方案：

本發明解決問題的技術特點，在于所述管路堵塞偵測預警方法，其于欲偵測管路預定部位設置加熱構件及溫度控制器，以利用該加熱構件對所述管路進行加熱，并利用該溫度控制器控制所述加熱構件的加熱溫度；

透過一數據收集裝置收集各該溫度控制器的溫度訊號；

透過一人機界面將所述數據收集裝置收集的數據加以具體化顯現；

欲偵測管路于初步運作時先進行一段時期的溫度加熱變化觀察及數據收集，并將該數據轉換成一正常加熱曲線表；

管路偵測管理者透過該人機界面觀察各該溫度控制器的溫度變化狀態并對照前述正常加熱曲線表，當其溫度變化為相對異常狀態時即可獲知管路為堵塞狀態。

與現有技術相比，本發明所揭管路堵塞偵測預警方法，可在不影響既有系統運作的情況下導入并與之共存、各自運作，故業界可輕易導入實施而確具實用進步性。

附圖說明

圖1為本發明的系系統構成立體示意圖；

圖2為本發明的系系統構成平面示意圖；

圖3為本發明的管路阻塞狀態示意圖；

圖4為本發明的管路暢通狀態示意圖；

圖5為本發明的管路阻塞狀態相對應的曲線表對照示意圖；

圖6為本發明的管路暢通狀態相對應的曲線表對照示意圖。

圖中標記：

05、管路；10、加熱構件；20、溫度控制器；30、數據收集裝置；40、人機界面。

具體實施方式

下面結合附圖對本發明實施例進行詳細描述。

如圖1和圖2所示，本發明管路堵塞偵測預警方法的較佳實施例，惟此等實施例僅供說明之用，在專利申請上并不受此結構的限制。

本發明所提供的管路堵塞偵測預警方法用以偵測既有管路05的堵塞狀態，以達到一種預警作用，所述管路堵塞偵測預警方法，其實體系統方面包含下述構成：

至少一加熱構件10，組設于欲偵測管路05預定部位，用以可對所述管路05進行加熱，所述加熱構件10可采用加熱帶，令所述加熱帶包覆于欲偵測管路05的外周而能獲得極為均勻有效率的致熱效果；

至少一溫度控制器20，用以控制所述加熱構件10的加熱頻率狀態，并將該加熱頻率狀態轉換為訊號輸出；

一數據收集裝置30，與所述各溫度控制器20電性連結，用以收集各該溫度控制器20的溫度控制訊號；

一人機界面40，用以將所述數據收集裝置30所收集的數據加以具體化顯現；

所述人機界面40與該數據收集裝置30二者可為分別獨立的兩機體型態(如圖1所示)，也可為整合為一體的結構型態。

承上述，本發明的管路堵塞偵測預警方法包含：

a、于欲偵測管路05預定部位設置該加熱構件10以及溫度控制器20，以利用該加熱構件10對所述管路05進行加熱的動作，并進一步利用該溫度控制器20控制所述加熱構件10的加熱頻率；

b、透過該數據收集裝置30收集各該溫度控制器20的溫度訊號；

c、透過該人機界面40將所述數據收集裝置30收集的數據加以具體化顯現；

其中，所述人機界面40可透過曲線圖或數據的方式顯現溫度變化數據；

d、所述欲偵測管路05于初步運作時，先進行一段時期的溫度加熱變化觀察及數據收集，并將該數據轉換成一正常加熱曲線表；