[發明專利]傳送和約束大型扁平柔性介質的高精度氣浮軸承分軸臺

有效

• 申請號: 200810171179.1
• 申請日: 2004-03-31
• 公開（公告）號: CN101441337A
• 公開（公告）日: 2009-05-27
• 發明（設計）人: 亞當·韋斯;阿夫沙爾·薩蘭勒;愛得華多·蓋爾曼;大衛·鮑爾溫
• 申請（專利權）人: 光子動力學公司
• 主分類號: G02F1/13
• 分類號: G02F1/13;G01M11/04
• 代理公司: 北京英賽嘉華知識產權代理有限責任公司
• 代理人: 余 朦;王艷春

1.一種平板檢測系統中的分軸臺，所述檢測系統適于檢測大型的、 扁平的、薄的、柔性介質，所述介質包括TFT?LCD陣列器件，所述分軸 臺包括：

第一部分，其可操作用于以第一操縱精度對所述介質進行定位，并 且在第一方向上傳送所述介質；

第二部分，其與所述第一部分物理相連，所述第二部分可操作用于 接納來自所述第一部分的所述介質，從而以第二操縱精度對所述介質進 行定位，以及進一步在所述第一方向上傳送所述介質，只有所述第二部 分才包含穩固而剛性的支承結構，以使得所述第二操縱精度高于所述第 一操縱精度；以及

檢測裝置，其安裝于所述第二部分，所述檢測裝置可操作用于檢定 由所述第二部分從所述第一部分接納的所述介質的器件的物理屬性。

2.根據權利要求1所述的檢測系統分軸臺，其特征在于，所述第一 部分是模塊化的，所述第二部分是模塊化的且能夠以可拆卸的方式與所 述第一部分連接，并且其中，所述第二部分的所述支承結構包括花崗巖 板。

3.根據權利要求2所述的檢測系統分軸臺，其特征在于，所述第二 部分的操縱精度通過所述花崗巖板的穩固性得以提高，從而足以在最終 公差內對所述介質進行可控制地定位。

4.根據權利要求3所述的檢測系統分軸臺，其特征在于，所述最終 公差在與平行于所述第二部分的上表面的平面相垂直的方向上，在任意 選定的橫向位置小于2.5μm。

5.根據權利要求1所述的檢測系統分軸臺，其特征在于，在所述介 質通過所述第二部分連續傳送過程中檢定所述介質的物理屬性。

6.根據權利要求1所述的檢測系統分軸臺，其特征在于，在保持所 述介質穩定不動的同時檢定所述介質的物理屬性，而后繼續傳遞所述介 質。

7.根據權利要求1所述的檢測系統分軸臺，其特征在于，所述第二 部分包括用于產生可控氣體排放場的所述第二部分的組件，并且包括一 種機構，該機構進一步在所述第二部分的選擇位置上產生真空以及在所 述場中產生第二壓縮氣浮軸承，從而實現對所述介質的可控制的懸浮和 垂直定位。

8.根據權利要求7所述的檢測系統分軸臺，其特征在于，所述用于 產生可控氣體排放場的所述第二部分的組件包括多孔介質。

9.根據權利要求8所述的檢測系統分軸臺，其特征在于，所述多孔 介質選自多孔陶瓷、泡沫金屬、多孔玻璃以及合成多孔材料。

10.根據權利要求8所述的檢測系統分軸臺，其特征在于，所述機 構包括與所述多孔介質一體形成的真空孔口。