[發明專利]感光性糊劑組合物和圖案形成方法有效
| 申請號： | 200810161142.0 | 申請日： | 2008-07-09 |
| 公開（公告）號： | CN101354533A | 公開（公告）日： | 2009-01-28 |
| 發明（設計）人： | 工藤和生;板野考史 | 申請（專利權）人： | JSR株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/028 | 分類號： | G03F7/028;G03F7/027;G03F7/075;G03F7/00 |
| 代理公司： | 中國專利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 熊玉蘭;黃可峻 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 感光性 組合 圖案 形成 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種感光性糊劑組合物，其特征是包含50重量％粒徑(D50)為2.0- 20.0微米的鋁粉末(A)、堿可溶性附脂(C)、多官能(甲基)丙烯酸酯(D) 和光聚合引發劑(E)，所述鋁粉末(A)是包接脂肪酸的鋁粉末(A)。
2.按權利要求1記載的感光性糊劑組合物，其特征是還包含50重量％粒 徑(D50)為0.2-4.0微米的玻璃粉末(B)。
3.按權利要求2記載的感光性糊劑組合物，其特征是所述的玻璃粉末(B) 是軟化點為350-700℃的玻璃粉末，以感光性糊劑組合物的總重量計，所述的 玻璃粉末(B)含量為0.5-15重量％。
4.按權利要求1記載的感光性糊劑組合物，其特征是相對于感光性糊劑組 合物的總重量，所述鋁粉末(A)的含量為15-70重量％。
5.一種形成圖案的方法，其特征是包括：
由權利要求1-4中任一項記載的感光性糊劑組合物，在基板上形成感光性 糊劑層的工序、
對該糊劑層進行曝光處理形成圖案潛像的工序、
對該糊劑層進行顯像處理形成圖案的工序、和
對該圖案進行燒成處理的工序。
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