[發(fā)明專利]一種電子元器件的清洗劑

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810151987.1
• 申請(qǐng)日: 2008-10-06
• 公開（公告）號(hào): CN101712910A
• 公開（公告）日: 2010-05-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 董志勇
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 天津市化學(xué)試劑研究所
• 主分類號(hào): C11D1/04
• 分類號(hào): C11D1/04
• 代理公司: 天津盛理知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 12209
• 代理人: 王來(lái)佳

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及電子工業(yè)領(lǐng)域，尤其是半導(dǎo)體器件和集成電路制造過程中所使用的電子元器件的清洗劑。

背景技術(shù)

在電子工業(yè)領(lǐng)域，尤其是半導(dǎo)體器件和集成電路的制造過程需要使用清洗劑對(duì)電子元器件進(jìn)行清洗。隨著電子技術(shù)的發(fā)展，從半導(dǎo)體來(lái)說已經(jīng)從簡(jiǎn)單的分立元件發(fā)展到目前的超大規(guī)模的集成電路，加工尺寸也從5微米發(fā)展到今日的0.35～0.5微米，然而就清洗原理以及清洗劑本身而言，目前合成清洗劑的過程中普遍使用硫酸、硝酸、雙氧水、四氯化碳、三氯乙烯等化學(xué)試劑。這些化學(xué)試劑不僅具有很強(qiáng)的腐蝕性，而且部分化學(xué)試劑還含有較大的毒性，不但危害操作人員的安全與健康，而且還污染環(huán)境，破壞大氣的臭氧層，危害人類的生態(tài)環(huán)境。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種使用安全、能保障操作人員健康、不會(huì)造成環(huán)境污染、清洗效果顯著、使用方法簡(jiǎn)便的電子元器件的清洗劑。

本發(fā)明解決其技術(shù)問題是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的：

一種電子元器件的清洗劑，其特征在于：由丁酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、四甲基丁烷和甲基異丁基甲酮構(gòu)成，各組分所占重量百分比為：

丁酮：???????????10～18％

乙酸乙酯：???????8～15％

乙酸丁酯：???????10～20％

四甲基丁烷：?????6～10％

甲基異丁基甲酮：?45～55％。

本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)和有益效果為：

1.本電子元器件的清洗劑由丁酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、四甲基丁烷和甲基異丁基甲酮構(gòu)成。其成分中不含硫酸、硝酸、雙氧水、四氯化碳、三氯乙烯等化學(xué)試劑。因此可以保證操作人員的安全，使其在操作過程中不會(huì)受傷，并且本清洗劑無(wú)毒性，可以保證使用者的身體健康。

2.由于本清洗劑中沒有使用硫酸、硝酸、雙氧水、四氯化碳、三氯乙烯等化學(xué)試劑，因此不會(huì)造成環(huán)境污染，不會(huì)對(duì)臭氧層造成破壞，是一種符合環(huán)保要求的清洗劑。

3.本清洗劑清洗效果顯著、制造簡(jiǎn)單、成本低，并且使用方法簡(jiǎn)便，是一種非常適宜電子器件使用的清洗劑。

具體實(shí)施方式

下面通過具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步詳述。以下實(shí)施例只是描述性的，不是限定性的，不能以此限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。

一種電子元器件的清洗劑，其創(chuàng)新點(diǎn)在于：由丁酮、乙酸乙酯、乙酸丁酯、四甲基丁烷和甲基異丁基甲酮構(gòu)成，各組分所占重量百分比為：

丁酮：???????????10～18％

乙酸乙酯：???????8～15％

乙酸丁酯：???????10～20％

四甲基丁烷：?????6～10％

甲基異丁基甲酮：?45～55％。

實(shí)施例1：

丁酮：???????????10％

乙酸乙酯：???????8％

乙酸丁酯：???????10％

四甲基丁烷：?????6％

甲基異丁基甲酮：?45％。

本實(shí)施例中的各組分均達(dá)到分析級(jí)，首先將所有的原料進(jìn)行真空過濾凈化，再將各組分按以上比例混合，即可得到清洗劑成品。

實(shí)施例2：

丁酮：??????????16％

乙酸乙酯：??????10％

乙酸丁酯：??????15％

四甲基丁烷：????8％

甲基異丁基甲酮：48％。

本實(shí)施例中的各組分均達(dá)到分析級(jí)，首先將所有的原料進(jìn)行真空過濾凈化，再將各組分按以上比例混合，即可得到清洗劑成品。

實(shí)施例3：

丁酮：??????????12％

乙酸乙酯：??????13％

乙酸丁酯：??????18％

四甲基丁烷：????7％

甲基異丁基甲酮：52％。

本實(shí)施例中的各組分均達(dá)到分析級(jí)，首先將所有的原料進(jìn)行真空過濾凈化，再將各組分按以上比例混合，即可得到清洗劑成品。

實(shí)施例4：

丁酮：??????????18％

乙酸乙酯：??????15％

乙酸丁酯：??????20％

四甲基丁烷：????10％

甲基異丁基甲酮：55％。

本實(shí)施例中的各組分均達(dá)到分析級(jí)，首先將所有的原料進(jìn)行真空過濾凈化，再將各組分按以上比例混合，即可得到清洗劑成品。