[發(fā)明專利]空氣冷卻多晶硅氫還原爐出氣管的方法有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 200810147643.3 | 申請(qǐng)日： | 2008-11-24 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN101417803A | 公開（公告）日： | 2009-04-29 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 戴自忠;涂大勇 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 四川永祥多晶硅有限公司 |
| 主分類號(hào)： | C01B33/03 | 分類號(hào)： | C01B33/03;C30B29/06;C30B28/14 |
| 代理公司： | 成都天嘉專利事務(wù)所（普通合伙） | 代理人： | 方 強(qiáng) |
| 地址： | 614800四*** | 國(guó)省代碼： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 空氣冷卻 多晶 還原 氣管 方法 | ||
1.空氣冷卻多晶硅氫還原爐出氣管的方法，其特征在于：多晶硅氫還原爐的出氣管外部設(shè)置有溫度大大低于出氣管溫度的空氣，通過空氣流動(dòng)與出氣管換熱，空氣帶走出氣管的熱量，降低出氣管溫度；所述空氣的溫度為常溫，壓力為0.5～0.8MPa；經(jīng)過空氣冷卻后的多晶硅氫還原爐出氣管溫度范圍為380～420℃；
所述空氣為壓縮空氣，每小時(shí)在75～150立方米；壓縮空氣采用壓縮空氣站或者高壓風(fēng)機(jī)的空氣；所述壓縮空氣站的出口設(shè)置有自動(dòng)調(diào)節(jié)閥門，通過自動(dòng)調(diào)節(jié)閥門調(diào)節(jié)空氣的流量和壓力，根據(jù)出氣管溫度進(jìn)行自動(dòng)調(diào)節(jié)控制空氣流量。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述空氣冷卻多晶硅氫還原爐出氣管的方法，其特征在于：所述空氣是通過出氣管外部的空氣管道輸出的，所述空氣管道為空氣盤管或與出氣管平行的直管。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述空氣冷卻多晶硅氫還原爐出氣管的方法，其特征在于：所述空氣管道上設(shè)置有出氣孔，便于空氣輸出。
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