[發(fā)明專(zhuān)利]Ⅲ族氮化物基板的制造方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810144145.3
• 申請(qǐng)日: 2005-12-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101335205A
• 公開(kāi)（公告）日: 2008-12-31
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 松本直樹(shù)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 住友電氣工業(yè)株式會(huì)社
• 主分類(lèi)號(hào): H01L21/304
• 分類(lèi)號(hào): H01L21/304;B28D5/04;B28D1/06;B24B27/06
• 代理公司: 中科專(zhuān)利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 李香蘭

1.一種氮化鎵基板，其通過(guò)切斷由六方晶系的氮化鎵結(jié)晶構(gòu)成的結(jié)晶塊制造而成，其中，具有如下的切斷所述結(jié)晶塊的工序：一邊以所述結(jié)晶塊和金屬線(xiàn)列相接觸的方式傳送所述結(jié)晶塊以及所述金屬線(xiàn)列中的至少一方，一邊供給研磨液，同時(shí)切斷所述結(jié)晶塊，在切斷所述結(jié)晶塊時(shí)，使所述金屬線(xiàn)列所含的金屬線(xiàn)的延長(zhǎng)方向相對(duì)于所述結(jié)晶塊的{1-100}面傾斜3°以上，

基板的翹曲為50μm以下。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的氮化鎵基板，其中，

加工變質(zhì)層深度為6μm以下。

3.一種第三族氮化物基板，是通過(guò)使用金屬線(xiàn)列切斷由六方晶系的第三族氮化物結(jié)晶構(gòu)成的結(jié)晶塊來(lái)制造第三族氮化物基板的方法制造而成，其中，制造所述第三族氮化物基板的方法具有如下的切斷所述結(jié)晶塊的工序：一邊以所述結(jié)晶塊和所述金屬線(xiàn)列相接觸的方式傳送所述結(jié)晶塊以及所述金屬線(xiàn)列中的至少一方，一邊供給研磨液，同時(shí)切斷所述結(jié)晶塊，

在切斷所述結(jié)晶塊時(shí)，使所述金屬線(xiàn)列所含的金屬線(xiàn)的延長(zhǎng)方向相對(duì)于所述結(jié)晶塊的{1-100}面傾斜3°以上。

4.一種第三族氮化物基板的制造方法，其通過(guò)使用金屬線(xiàn)列切斷由六方晶系的第三族氮化物結(jié)晶構(gòu)成的結(jié)晶塊來(lái)制造第三族氮化物基板，

其中，具有如下的切斷所述結(jié)晶塊的工序：一邊以所述結(jié)晶塊和所述金屬線(xiàn)列相接觸的方式傳送所述結(jié)晶塊以及所述金屬線(xiàn)列中的至少一方，一邊供給研磨液，同時(shí)切斷所述結(jié)晶塊，

在切斷所述結(jié)晶塊時(shí)，使所述金屬線(xiàn)列所含的金屬線(xiàn)的延長(zhǎng)方向相對(duì)于所述結(jié)晶塊的{1-100}面傾斜3°以上，通過(guò)將結(jié)晶塊相對(duì)于所述金屬線(xiàn)列自下方開(kāi)始傳送的上切法、或?qū)⒔Y(jié)晶塊相對(duì)于所述金屬線(xiàn)列自上方開(kāi)始傳送的下切法來(lái)進(jìn)行切斷。

5.一種第三族氮化物基板的制造方法，其通過(guò)使用金屬線(xiàn)列切斷由六方晶系的第三族氮化物結(jié)晶構(gòu)成的結(jié)晶塊來(lái)制造第三族氮化物基板，

其中，具有如下的切斷所述結(jié)晶塊的工序：一邊以所述結(jié)晶塊和所述金屬線(xiàn)列相接觸的方式傳送所述結(jié)晶塊以及所述金屬線(xiàn)列中的至少一方，一邊供給研磨液，同時(shí)切斷所述結(jié)晶塊，

在切斷所述結(jié)晶塊時(shí)，以能夠?qū)⑺鼋饘倬€(xiàn)列所含的金屬線(xiàn)的延長(zhǎng)方向相對(duì)于所述結(jié)晶塊的{11-20}面維持3°以上的角度范圍來(lái)?yè)u動(dòng)結(jié)晶塊或?qū)л仭?/p>

6.一種第三族氮化物基板的制造方法，其通過(guò)使用金屬線(xiàn)列切斷由六方晶系的第三族氮化物結(jié)晶構(gòu)成的結(jié)晶塊來(lái)制造第三族氮化物基板，

其中，具有如下的切斷所述結(jié)晶塊的工序：一邊以所述結(jié)晶塊和所述金屬線(xiàn)列相接觸的方式傳送所述結(jié)晶塊以及所述金屬線(xiàn)列中的至少一方，一邊供給研磨液，同時(shí)切斷所述結(jié)晶塊，

在切斷所述結(jié)晶塊時(shí)，使所述金屬線(xiàn)列所含的金屬線(xiàn)的延長(zhǎng)方向相對(duì)于所述結(jié)晶塊的{1-100}面傾斜3°以上，并將所述金屬線(xiàn)的負(fù)載張力設(shè)定為12N以上30N以下來(lái)進(jìn)行切斷。