[發明專利]一種高功率平面磁控濺射陰極在審
| 申請號： | 200810143346.1 | 申請日： | 2008-10-17 |
| 公開（公告）號： | CN101418432A | 公開（公告）日： | 2009-04-29 |
| 發明（設計）人： | 陳理;李國強 | 申請（專利權）人： | 湖南玉豐真空科學技術有限公司 |
| 主分類號： | C23C14/35 | 分類號： | C23C14/35 |
| 代理公司： | 湘潭市雨湖區創匯知識產權代理事務所 | 代理人： | 左祝安 |
| 地址： | 411100湖*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
| 權利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 功率 平面 磁控濺射 陰極 | ||
【權利要求書】：
1.一種高功率平面磁控濺射陰極，它包括陰極體(4)、靶材(1)和磁鐵，在陰極體(4)的內腔內安裝有磁鐵，靶材(1)安裝在陰極體(4)的上部，其特征是：在陰極體(4)的內腔內設置有密閉的冷卻通道(2)，在陰極體(4)內腔內其底部與冷卻通道(2)之間設置有磁靴(5)，在冷卻通道(2)與磁靴(5)之間設置有磁鐵(3)。
2.根據權利要求1所述的高功率平面磁控濺射陰極，其特征是：所述冷卻通道(2)由冷卻通道外殼(6)和熱傳導板(7)構成，冷卻通道外殼(6)為上部敞口的槽狀結構，在冷卻通道外殼(6)上部配合設置有熱傳導板(7)。
3.根據權利要求2所述的高功率平面磁控濺射陰極，其特征是：所述冷卻通道外殼(6)的橫截面為上寬下窄的梯形狀冷卻槽，在冷卻通道(2)的外側設置有與冷卻通道外殼(6)相配合的條狀磁鐵(3)。
4.根據權利要求2所述的高功率平面磁控濺射陰極，其特征是：所述冷卻通道外殼(6)的橫截面為2個或2個以上的上寬下窄的梯形狀冷卻槽，在冷卻通道(2)的外側設置有與冷卻通道外殼(6)相配合的條狀磁鐵(3)，并在冷卻通道外殼(6)的2個梯形狀冷卻槽之間設置有錐狀或梯臺狀磁鐵(8)。
下載完整專利技術內容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息，商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于湖南玉豐真空科學技術有限公司，未經湖南玉豐真空科學技術有限公司許可，擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作，請聯系【客服】
本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/200810143346.1/1.html，轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 同類專利
- 專利分類
