[發明專利]抗腐蝕類金剛石薄膜的制備方法無效
| 申請號： | 200810143000.1 | 申請日： | 2008-12-29 |
| 公開（公告）號： | CN101768011A | 公開（公告）日： | 2010-07-07 |
| 發明（設計）人： | 張俊彥;王舟;王成兵;王琦 | 申請（專利權）人： | 中國科學院蘭州化學物理研究所 |
| 主分類號： | C04B41/50 | 分類號： | C04B41/50 |
| 代理公司： | 蘭州中科華西專利代理有限公司 62002 | 代理人： | 方曉佳 |
| 地址： | 730000甘肅*** | 國省代碼： | 甘肅;62 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 腐蝕 金剛石 薄膜 制備 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種抗腐蝕類金剛石薄膜的制備方法，其特征在于該方法包括以下步驟：
A將預先清潔后的硅片連續放入丙酮、乙醇中超聲清洗，然后轉移至真空腔，放置在下部的基底盤上，基底盤和射頻電源及負偏壓電源相連；抽真空直到腔內真空度小于2.0×10-3Pa；
B通入氬氣，在脈沖負偏壓300伏特條件下進行等離子體清洗，用以除去表面殘留的雜質和污染物；
C通入甲烷和氫氣，在射頻電源100W，脈沖負偏壓200伏特、沉積氣壓13帕條件下鍍膜2-3小時。
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