[發明專利]排氣捕集裝置

無效

• 申請號: 200810127266.7
• 申請日: 2005-05-12
• 公開（公告）號: CN101371958A
• 公開（公告）日: 2009-02-25
• 發明（設計）人: 辻德彥
• 申請（專利權）人: 東京毅力科創株式會社
• 主分類號: B01D45/08
• 分類號: B01D45/08;C23C16/44;H01L21/00
• 代理公司: 北京紀凱知識產權代理有限公司
• 代理人: 劉春成

1.?一種排氣捕集裝置，從通過氣體的排氣路徑的排出氣體中捕集析出物，其特征在于，

沿著所述排氣路徑串聯配置多個形成有使排出氣體通過其各自的內部的排氣通路的排氣捕集部分；

所述多個排氣捕集部分包含配置在排出氣體的流動方向的上游側的第一排氣捕集部分、和配置在下游側的第二排氣捕集部分；

在所述第一和第二排氣捕集部分上分別設有沖突板；

所述第二排氣捕集部分的排氣通路的軸線和沖突板形成的角度，比所述第一排氣捕集部分的排氣通路的軸線與沖突板形成的角度大。

2.?如權利要求1所述的排氣捕集裝置，其特征在于，

所述第一和第二排氣捕集部分以一個卷繞在另一個的外側上的方式配置，在所述第一排氣捕集部分和所述第二排氣捕集部分之間，設有使排出氣體的流動方向反向的反轉通路部分。

3.?如權利要求2所述的排氣捕集裝置，其特征在于，

所述反轉通路部分以遍及所述第一和第二排氣捕集部分的整個周邊的方式將它們連接。

4.?如權利要求1～3中任一項所述的排氣捕集裝置，其特征在于，

配置所述沖突板，使得氣體螺旋狀地在配置有該沖突板的排氣通路內流動。

5.?一種氣體反應裝置，其特征在于，具有

氣體供給部分、使從該氣體供給部分供給的氣體反應的氣體反應室、所述氣體供給部分或所述氣體反應室的排氣路徑、和配置在該排氣路徑中途的權利要求1～4中任一項所述的排氣捕集裝置。