[發(fā)明專利]蔭罩式等離子體顯示板用電極的制備方法

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 200810123384.0
• 申請日: 2008-06-16
• 公開（公告）號: CN101320666A
• 公開（公告）日: 2008-12-10
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 林潔;武國政;張雄;朱立鋒;樊兆雯;林青園
• 申請（專利權(quán)）人: 南京華顯高科有限公司
• 主分類號: H01J9/02
• 分類號: H01J9/02
• 代理公司: 南京天華專利代理有限責(zé)任公司
• 代理人: 夏平;瞿網(wǎng)蘭

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種等離子體顯示板的電極制作技術(shù)，尤其是一種蔭罩式等離子體顯示板的電極制作技術(shù)，具體地說一種在蔭罩式等離子體顯示板的面板上，利用薄膜光刻技術(shù)和厚膜技術(shù)相結(jié)合的蔭罩式等離子體顯示板用電極的制備方法。

背景技術(shù)

目前常用的電極制備方法有絲網(wǎng)印刷法、光敏銀漿法和薄膜光刻法。絲網(wǎng)印刷法通過曝光、顯影的方法將所需的電極圖形做在一定目數(shù)的絲網(wǎng)上，用導(dǎo)電銀漿作匯流電極的原材料，再在絲印機(jī)上經(jīng)過絲網(wǎng)印刷把導(dǎo)電銀漿料印刷到基板的所需位置上，印刷后經(jīng)烘干直接形成圖形，但是采用絲網(wǎng)印刷法制作電極，電極寬度小于100μm時比較難實現(xiàn)。目前使用比較多的是光敏銀漿法，就是在基板上整板印刷一定厚度的光敏銀漿，烘干后用專用的掩膜版經(jīng)曝光、顯影，得到所需的電極圖形，再經(jīng)過燒結(jié)，完成匯流電極的制作。但是這種方法制備電極需要把漿料印刷給玻璃基板的整面，而最終形成的圖形的漿料只有約30％。高分辨的線條通常需要用薄膜方法，分辨率的限制是決定是否使用厚膜技術(shù)的最大的因素，薄膜光刻法是采用真空成膜裝置成膜，上面用光刻膠形成保護(hù)膜，然后經(jīng)過曝光、顯影、腐蝕等一系列工藝技術(shù)，形成圖形，可以獲得整板均勻性好、精度高的電極線條(幾微米寬)，但是光刻設(shè)備昂貴，制造工藝復(fù)雜，成本很高，材料浪費嚴(yán)重，且容易造成污染。將薄膜光刻技術(shù)和厚膜技術(shù)相結(jié)合，不僅可以做到比較細(xì)的電極，且成本遠(yuǎn)低于薄膜法，同時由于不需要整板印刷漿料，可以減少不必要的資源的浪費和制造費用的增加。此外，還可以解決電極的兩端部分發(fā)生翹起的卷邊現(xiàn)象的問題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的是針對現(xiàn)有等離子體顯示板的電極制作方法的不足，為提高面板的質(zhì)量和生產(chǎn)效率、降低面板的制造成本，而提出的一種蔭罩式等離子體顯示板用電極的制備方法。

本發(fā)明的技術(shù)方案是：

一種蔭罩式等離子體顯示板用電極的制備方法，它包括布置于前玻璃基板上互相平行放置的掃描電極，以及布置于后玻璃基板上的與所描述電極正交的尋址電極的制作方法，二種電極的制備方法完全相同，其特征在于它包括以下步驟：

a、在玻璃基板表面制作含PVA感光材料的感光層；

b、曝光：用帶線條圖形的掩膜版平鋪在感光層的表面，再用紫外光照射掩膜板和感光材料，形成固化的感光材料和未固化的感光材料；

c、顯影：用顯影液噴淋以上曝光過的玻璃基板，去除未固化的感光材料，形成有所需圖形的固化的感光材料的玻璃基板。

d、填充導(dǎo)電銀漿：在去除的感光材料處填充導(dǎo)電銀漿，形成所需要的導(dǎo)電銀漿圖形。

e、烘干：將帶有感光材料和導(dǎo)電銀漿的基板烘干，去除導(dǎo)電銀漿中的部分溶劑，使電極成形，并附著在玻璃基板上；

f、燒結(jié)：采用燒成爐對經(jīng)過烘干的玻璃基板進(jìn)行燒結(jié)，去除上述固化的感光材料，同時徹底去除導(dǎo)電銀漿中的溶劑，使電極成形，并具有導(dǎo)電能力。

所述的導(dǎo)電銀漿應(yīng)采用不具有光敏特性的漿料。

所述的感光層可以在燒成的高溫過程中直接分解去除。

所述的導(dǎo)電銀漿最好是以梯形形狀形成在上述玻璃基板上。

在曝光和顯影階段中，應(yīng)使感光干膜能夠被帶線條圖形的掩膜版防護(hù)的光的衍射和折射現(xiàn)象形成反梯形。

本發(fā)明的有益效果：

本發(fā)明提出的蔭罩式等離子顯示板的電極形成方式，在等離子顯示面板的玻璃基板上，只對利用感光材料形成實際模式的部分形成電極，因此具有杜絕不必要導(dǎo)電銀漿的浪費，減少顯示面板的制造費用，并可以提高生產(chǎn)效率，同時通過形成的梯形電極，可以防止電極卷邊現(xiàn)象發(fā)生的效果。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的蔭罩式等離子體顯示器的基本結(jié)構(gòu)。

圖2為本發(fā)明的電極的制作過程示意圖，其中：圖2a是感光層的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2b是曝光狀態(tài)示意圖；圖2c是顯影狀態(tài)示意圖；圖2d是填充導(dǎo)電銀漿和干燥狀態(tài)示意圖；圖2e是電極燒成狀態(tài)示意圖。

圖2中：13為前玻璃基板或后玻璃基板、14為感光層、15為帶有電極圖案的掩膜版、16為紫外光、17為固化的感光材料、18為未固化的感光材料、19為顯影液、20為導(dǎo)電銀漿、21為最終成形的掃描電極或?qū)ぶ冯姌O。

具體實施方式

下面結(jié)合附圖和實施例對本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步的說明。