[發(fā)明專利]壓電元件及其制造方法、磁頭折片組合以及磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元

無(wú)效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 200810100404.2
• 申請(qǐng)日: 2008-05-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN101582484A
• 公開(kāi)（公告）日: 2009-11-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 姚明高;孫雨
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 新科實(shí)業(yè)有限公司
• 主分類號(hào): H01L41/083
• 分類號(hào): H01L41/083;H01L41/047;H01L41/22;G11B5/48
• 代理公司: 廣州三環(huán)專利代理有限公司
• 代理人: 郝傳鑫

1.一種壓電元件，包括第一疊層結(jié)構(gòu)體和第二疊層結(jié)構(gòu)體，所述第一、第二疊層結(jié)構(gòu)體均是由電極層和壓電層交替層壓而成的，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間，其特征在于：所述第一、第二疊層結(jié)構(gòu)體在層壓方向上的側(cè)面均至少有部分材料蝕刻掉，形成一凹陷，使每一壓電層兩側(cè)的相鄰電極層在該側(cè)面上的端面間具有一定階距，且第一、第二疊層結(jié)構(gòu)體疊壓在一起，之間通過(guò)粘結(jié)劑粘結(jié)，并關(guān)于粘結(jié)面對(duì)稱。

2.如權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于：所述側(cè)面經(jīng)蝕刻后所形成的表面為臺(tái)階形曲面、波浪形曲面或傾斜平面。

3.如權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于：所述凹陷內(nèi)填充有絕緣樹(shù)脂。

4.如權(quán)利要求1所述的壓電元件，其特征在于：所述階距為0.5-10um。

5.一種制造壓電元件的方法，包括如下步驟：

(1)交替層壓電極層和壓電層而成第一疊層結(jié)構(gòu)體，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間；

(2)對(duì)第一疊層結(jié)構(gòu)體在層壓方向上的側(cè)面進(jìn)行蝕刻以形成一凹陷，使每一壓電層兩側(cè)的相鄰電極層在該側(cè)面上的端面間具有一定階距；

(3)以如同步驟(1)和(2)的方法制成第二疊層結(jié)構(gòu)體；及

(4)將第一疊層結(jié)構(gòu)體和第二疊層結(jié)構(gòu)體面對(duì)面對(duì)稱疊壓在一起，之間用粘結(jié)劑粘結(jié)。

6.如權(quán)利要求5所述的制造壓電元件的方法，其特征在于：還包括對(duì)所述第一疊層結(jié)構(gòu)體和第二疊層結(jié)構(gòu)體側(cè)面上的凹陷填充絕緣樹(shù)脂的步驟。

7.如權(quán)利要求5所述的制造壓電元件的方法，其特征在于：所述步驟(2)中將所述側(cè)面蝕刻為臺(tái)階形曲面、波浪形曲面或傾斜平面。

8.如權(quán)利要求5所述的制造壓電元件的方法，其特征在于：所述蝕刻是采用化學(xué)蝕刻工藝或離子濺射。

9.如權(quán)利要求5所述的制造壓電元件的方法，其特征在于：所述階距為0.5-10um。

10.一種壓電元件，包括至少一個(gè)疊層結(jié)構(gòu)體，所述疊層結(jié)構(gòu)體是由電極層和壓電層交替層壓而成的，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間，其特征在于：所述疊層結(jié)構(gòu)體在層壓方向上的側(cè)面至少有部分材料蝕刻掉，形成一凹陷，使每一壓電層兩側(cè)的相鄰電極層在該側(cè)面上的端面間具有一定階距。

11.如權(quán)利要求10所述的壓電元件，其特征在于：所述側(cè)面經(jīng)蝕刻后所形成的表面為臺(tái)階形曲面、波浪形曲面或傾斜平面。

12.如權(quán)利要求10所述的壓電元件，其特征在于：所述凹陷內(nèi)填充有絕緣樹(shù)脂。

13.如權(quán)利要求10所述的壓電元件，其特征在于：所述階距為0.5-10um。

14.一種磁頭折片組合，包括：

磁頭；

壓電微致動(dòng)器；以及

支撐所述磁頭和壓電微致動(dòng)器的懸臂件；

其中所述壓電微致動(dòng)器包括至少一對(duì)壓電元件，所述每個(gè)壓電元件包括第一疊層結(jié)構(gòu)體和第二疊層結(jié)構(gòu)體，所述第一、第二疊層結(jié)構(gòu)體均是由電極層和壓電層交替層壓而成的，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間，

其特征在于：所述第一、第二疊層結(jié)構(gòu)體在層壓方向上的側(cè)面均至少有部分材料蝕刻掉，形成一凹陷，使每一壓電層兩側(cè)的相鄰電極層在該側(cè)面上的端面間具有一定階距，且第一、第二疊層結(jié)構(gòu)體疊壓在一起，之間通過(guò)粘結(jié)劑粘結(jié)，并關(guān)于粘結(jié)面對(duì)稱。

15.如權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于：所述側(cè)面經(jīng)蝕刻后所形成的表面為臺(tái)階形曲面、波浪形曲面或傾斜平面。

16.如權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于：所述凹陷內(nèi)填充有絕緣樹(shù)脂。

17.如權(quán)利要求14所述的磁頭折片組合，其特征在于：所述階距為0.5-10um。

18.一種磁盤(pán)驅(qū)動(dòng)單元，包括：

磁頭折片組合；

與所述磁頭折片組合相連的驅(qū)動(dòng)臂；

磁盤(pán)；以及

用于旋轉(zhuǎn)所述磁盤(pán)的主軸馬達(dá)；

其中所述磁頭折片組合包括：

磁頭；

壓電微致動(dòng)器；以及

支撐所述磁頭和壓電微致動(dòng)器的懸臂件，

其中所述壓電微致動(dòng)器包括至少一對(duì)壓電元件，所述每個(gè)壓電元件包括第一疊層結(jié)構(gòu)體和第二疊層結(jié)構(gòu)體，所述第一、第二疊層結(jié)構(gòu)體均是由電極層和壓電層交替層壓而成的，其中每一壓電層夾在兩相鄰電極層之間，

其特征在于：所述第一、第二疊層結(jié)構(gòu)體在層壓方向上的側(cè)面均至少有部分材料蝕刻掉，形成一凹陷，使每一壓電層兩側(cè)的相鄰電極層在該側(cè)面上的端面間具有一定階距，且第一、第二疊層結(jié)構(gòu)體疊壓在一起，之間通過(guò)粘結(jié)劑粘結(jié)，并關(guān)于粘結(jié)面對(duì)稱。