[發明專利]流體輸送裝置

有效

• 申請號: 200810099614.4
• 申請日: 2008-05-16
• 公開（公告）號: CN101581291A
• 公開（公告）日: 2009-11-18
• 發明（設計）人: 陳世昌;張英倫;余榮侯;邱士哲;周宗柏
• 申請（專利權）人: 研能科技股份有限公司
• 主分類號: F04B43/04
• 分類號: F04B43/04;F04B45/047
• 代理公司: 上海專利商標事務所有限公司
• 代理人: 郭 蔚

1.一種流體輸送裝置，用以傳送一流體，其包含：

一閥體座，其具有一出口信道及一入口信道；

一閥體蓋體，其與該閥體座相互堆棧結合，具有與該入口信道相對應設置的一入 口閥門信道，及與該出口信道相對應設置的一出口閥門信道；

一閥體薄膜，其設置于該閥體座及該閥體蓋體之間，且具有一第一閥門結構及一 第二閥門結構，該第一閥門結構及該第二閥門結構分別具有一閥片以及多個環繞該閥 片外圍而設置的鏤空孔洞，該孔洞之間更具有與該閥片相連接的延伸部；

多個微凸結構，其分別具有一水平接觸面且分別設置于該閥體座及該閥體蓋體上， 該閥體薄膜的該第一閥門結構及該第二閥門結構的該閥片分別與該多個微凸結構的 該水平接觸面相抵頂，形成施予該閥片的一預力；

多個暫存室，于該閥體薄膜與該閥體蓋體之間形成一第一暫存室，以及于該閥體 薄膜與該閥體座之間形成一第二暫存室；以及

一致動裝置，其外圍固設于該閥體蓋體。

2.根據權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該多個微凸結構以黃光蝕 刻、鍍膜或是電鑄技術的半導體制程所形成。

3.根據權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該多個微凸結構以與該閥 體座及該閥體蓋體以一體射出成型的方式所形成。

4.根據權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該多個微凸結構更分別具 有一導流面，該導流面分別設置于該多個微凸結構與該入口信道及該出口閥門信道相 對應的壁面端緣處。

5.根據權利要求4所述的流體輸送裝置，其特征在于，該多個微凸結構的該導 流面為一導角斜面。

6.根據權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該致動裝置與該閥體蓋 體定義出一壓力腔室。

7.根據權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，該致動裝置包括一致動器 及一振動薄膜。

8.根據權利要求1所述的流體輸送裝置，其特征在于，其中該第一暫存室的最 小口徑大于該入口信道的管徑。