[發明專利]探針卡組件以及使用于探針卡組件的中介裝置有效
| 申請號： | 200810099201.6 | 申請日： | 2008-05-08 |
| 公開（公告）號： | CN101576576A | 公開（公告）日： | 2009-11-11 |
| 發明（設計）人： | 易繼銘 | 申請（專利權）人： | 南茂科技股份有限公司 |
| 主分類號： | G01R1/073 | 分類號： | G01R1/073;G01R31/26;G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海專利商標事務所有限公司 | 代理人： | 陸 嘉 |
| 地址： | 臺灣省新竹科學*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 探針 組件 以及 使用 中介 裝置 | ||
1. 一種探針卡組件，用于一待測晶圓的測試，主要包含一母板與子板，所述子板鄰近中央附近設置有多個測試探針，用以接觸待測晶圓，其特征在于：
所述子板朝向所述母板以環形陣列狀設置有多個第一電性接點，所述母板中央部份設有一開口，所述開口外側對應于所述多個第一電性接點處，以環形陣列狀設置有多個第二電性接點；所述探針卡組件進一步包含有至少一個間隔件與多個中介裝置，其中所述間隔件具有一預先設定的厚度，且設置于所述母板與子板之間，其上設有多個開槽，以使所述多個中介裝置容置其中，所述多個中介裝置包含有多個彈性導電銷，所述多個彈性導電銷其一端為第三電性接點，另一端為第四電性接點，且所述多個彈性導電銷包含有導電金屬顆粒與適當的高分子材料，且所述多個中介裝置受壓縮后可彈性變形，以使得所述多個第三電性接點用以接觸所述多個第一電性接點，所述多個第四電性接點用以接觸所述多個第二電性接點，以使電氣信號從所述多個第一電性接點經由所述多個中介裝置導通至所述多個第二電性接點。
2.依據權利要求1所述的探針卡組件，其特征在于，所述多個中介裝置的厚度略大于所述間隔件預先設定的厚度，以及所述多個中介裝置受壓縮變形后的厚度不小于所述間隔件預先設定的厚度。
3.依據權利要求2所述的探針卡組件，其特征在于，所述多個中介裝置進一步包含有一本體，所述本體進一步包含有一第一框架，以及包覆于所述第一框架外部的第二框架，其中所述第二框架的彈性系數小于所述第一框架的彈性系數。
4.依據權利要求2所述的探針卡組件，其特征在于，所述多個中介裝置的兩端進一步凸設有成對的定位銷，用以插入定位設置于所述母板或所述子板的定位孔。
5.依據權利要求1所述的探針卡組件，其特征在于，所述多個測試探針為懸臂式探針或彈簧探針。
6.依據權利要求1所述的探針卡組件，其特征在于，所述間隔件呈中空的環狀結構以及所述間隔件是以單一的平面狀構件或多個平面狀構件組成中空? 的環狀結構及所述多個開槽。?
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